Helium Ion Microscopy

این کتاب اصول میکروسکوپ یون هلیوم (HIM) از جمله منبع یون میدان گازی (GFIS)، ستون و تشکل کنتراست را پوشش می‌دهد. همچنین اطلاعات دست اول در مورد نانوساخت و تصویربرداری با وضوح بالا ارائه می دهد. مدل‌های نظری مرتبط و رویکردهای شبیه‌سازی موجود در بخش اضافی مورد بحث قرار می‌گیرند. ساختار کتاب به تازه‌کار اجازه می‌دهد تا با ویژگی‌های تکنیک مورد نیاز برای درک فصل‌های کاربردی‌تر در نیمه دوم جلد آشنا شود. خواننده متخصص در چندین فصل که توسط متخصصان برجسته در این زمینه نوشته شده است، یک مرجع کامل از تکنیک را پیدا می کند که تمام برنامه های کاربردی مهم را پوشش می دهد. این شامل تصویربرداری از نمونه‌های بیولوژیکی، نانوساخت‌های مقاوم و پیش‌ساز، کاربرد در صنعت نیمه‌رسانا، استفاده از هلیوم و همچنین نئون و بسیاری موارد دیگر است. بخش اساسی به کاربر معمولی HIM اجازه می دهد تا درک خود را از روش عمیق تر کند. فصل آخر توسط بیل وارد، یکی از پیشگامان HIM، که تحولات تاریخی منجر به ابزار موجود را پوشش می دهد، محتوا را تکمیل می کند.

This book covers the fundamentals of Helium Ion Microscopy (HIM) including the Gas Field Ion Source (GFIS), column and contrast formation. It also provides first hand information on nanofabrication and high resolution imaging. Relevant theoretical models and the existing simulation approaches are discussed in an extra section. The structure of the book allows the novice to get acquainted with the specifics of the technique needed to understand the more applied chapters in the second half of the volume. The expert reader will find a complete reference of the technique covering all important applications in several chapters written by the leading experts in the field. This includes imaging of biological samples, resist and precursor based nanofabrication, applications in semiconductor industry, using Helium as well as Neon and many more. The fundamental part allows the regular HIM user to deepen his understanding of the method. A final chapter by Bill Ward, one of the pioneers of HIM, covering the historical developments leading to the existing tool complements the content.