X-Ray Spectrometry in Electron Beam Instruments

از روزهای اولیه خود در دهه 1950، میکروآنالایزر الکترونی دو راه اصلی برای بدست آوردن طیف اشعه ایکس ارائه کرده است: طیف سنجی پراکنده طول موج (WDS)، که از پراش کریستالی استفاده می کند، و طیف سنجی پراکندگی انرژی (EDS)، که در آن x انرژی کوانتومی پرتو به طور مستقیم اندازه گیری می شود. به طور کلی، WDS تفکیک پیک بسیار بهتری را برای طیف های خط پیچیده ارائه می دهد، در حالی که EDS کارایی جمع آوری بالاتری را ارائه می دهد و استفاده از آن آسان تر و ارزان تر است. هر دو تکنیک از همان روزهای اولیه دستخوش دگرگونی‌های اساسی شده‌اند، از طیف‌سنج متمرکز ساده و شمارشگر متناسب گاز در دهه 1950 تا آشکارسازهای نیمه‌رسانای پیشرفته و طیف‌سنج‌های قابل برنامه‌ریزی امروزی. به دلیل این پیشرفت‌ها، قابلیت‌ها و شایستگی‌های نسبی تکنیک‌های EDS و WDS برای نزدیک به 40 سال یکی از ویژگی‌های تکرارشونده کنفرانس‌های میکروپروب بوده است، و این جلد مقالات ارائه‌شده در سمپوزیوم یادبود چاک فیوری، که در نشست انجمن تحلیل میکروبیم در سال 1993 برگزار شد، گرد هم می‌آورد. مجموعه ای غنی و معتبر از مقالات که هم جنبه تاریخی و هم به روز دارد. از زمانی که ری دالبی برای اولین بار در سال 1960 تشعشعات پتاسیم را با یک شمارشگر متناسب گاز تشخیص داد، مدتهاست که هدف تحلیلگرهای میکروپروب بوده است. اکنون چندلایه های مصنوعی بهترین عناصر پراکنده را برای تجزیه و تحلیل کمی عنصر نور در کنار یک شمارنده گاز ارائه می کنند.

From its early days in the 1950s, the electron microanalyzer has offered two principal ways of obtaining x-ray spectra: wavelength dispersive spectrometry (WDS), which utilizes crystal diffraction, and energy dispersive spectrometry (EDS), in which the x-ray quantum energy is measured directly. In general, WDS offers much better peak separation for complex line spectra, whereas EDS gives a higher collection efficiency and is easier and cheaper to use. Both techniques have undergone major transformations since those early days, from the simple focusing spectrometerand gas proportional counter of the 1950s to the advanced semiconductor detectors and programmable spectrometersoftoday. Becauseofthesedevelopments, thecapabilities and relative merits of EDS and WDS techniques have been a recurring feature of microprobeconferences for nearly40 years, and this volume bringstogetherthepapers presented at the Chuck Fiori Memorial Symposium, held at the Microbeam Analysis Society Meeting of 1993. Several themes are apparent in this rich and authoritative collection of papers, which have both a historical and an up-to-the-minute dimension. Light element analysis has long been a goal of microprobe analysts since Ray Dolby first detected K radiation with a gas proportional counter in 1960. WDS techniques (using carbon lead stearate films) were not used for this purpose until four years later. Now synthetic multilayers provide the best dispersive elements for quantitative light element analy­ sis-still used in conjunction with a gas counter.