دسترسی نامحدود
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
برای ارتباط با ما می توانید از طریق شماره موبایل زیر از طریق تماس و پیامک با ما در ارتباط باشید
در صورت عدم پاسخ گویی از طریق پیامک با پشتیبان در ارتباط باشید
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
درصورت عدم همخوانی توضیحات با کتاب
از ساعت 7 صبح تا 10 شب
ویرایش: 1
نویسندگان: Ivor Brodie. Julius J. Muray (auth.)
سری:
ISBN (شابک) : 9781489921628, 9781489921604
ناشر: Springer US
سال نشر: 1982
تعداد صفحات: 518
زبان: English
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود)
حجم فایل: 14 مگابایت
کلمات کلیدی مربوط به کتاب فیزیک ریزساخت: مهندسی برق، نوری و مواد الکترونیکی
در صورت تبدیل فایل کتاب The Physics of Microfabrication به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.
توجه داشته باشید کتاب فیزیک ریزساخت نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.
The Physical Electronics Department of SRI International (formerly Stanford Research Institute) has been pioneering the development of devices fabricated to submicron tolerances for well over 20 years. In 1961, a landmark paper on electron-beam lithography and its associated technologies was published by K. R. Shoulderst (then at SRI), which set the stage for our subsequent efforts in this field. He had the foresight to believe that the building of such small devices was actually within the range of human capabilities. As a result of this initial momentum, our experience in the technologies associated with microfabrication has become remarkably comprehensive, despite the relatively small size of our research activity. We have frequently been asked to deliver seminars or provide reviews on various aspects of micro fabrication. These activities made us aware of the need for a comprehensive overview of the physics of microfabrication. We hope that this book will fill that need.
Front Matter....Pages i-xix
Preliminary Survey....Pages 1-78
Particle Beams: Sources, Optics, and Interactions....Pages 79-225
Thin Films....Pages 227-265
Pattern Generation....Pages 267-348
Special Processes Developed for Microcircuit Technology....Pages 349-412
Submicron Microscopy and Microprobes....Pages 413-442
Future Directions....Pages 443-463
Back Matter....Pages 465-503