Silicon-on-Insulator Technology: Materials to VLSI

فناوری سیلیکون روی عایق: مواد به VLSI، ویرایش سوم، تکامل مواد، دستگاه‌ها و مدارهای SOI را در یک دوره تقریباً بیست ساله بازبینی می‌کند. بیست سال پیشرفت، تحقیق و توسعه که در طی آن تکنیک‌های ساخت مواد SOI متولد شده و رها شده است، دستگاه‌هایی اختراع و فراموش شده‌اند، اما مهم‌تر از همه، بیست سالی است که طی آن فناوری SOI کم کم ثابت کرده است که می‌تواند عملکرد بهتری از سیلیکون حجیم در هر زمینه داشته باشد. راه ممکن آغاز قرن به نقطه عطفی برای صنعت نیمه هادی تبدیل شد، زیرا ویفرهای SOI با کیفیت بالا به طور ناگهانی در مقادیر زیادی در دسترس قرار گرفتند. از آن زمان به بعد، تنها چند سال طول کشید تا شاهد استفاده از فناوری SOI در انبوهی از کاربردها از تقویت‌کننده‌های صوتی و ساعت‌های مچی تا ریزپردازنده‌های 64 بیتی باشیم.
این کتاب بررسی کامل و پیشرفته ای از مواد، دستگاه ها و مدارهای SOI ارائه می دهد. تکنیک‌های ساخت و خصوصیات SOI، پردازش SOI CMOS، و فیزیک SOI MOSFET تجزیه و تحلیل عمیقی دریافت می‌کنند.

Silicon-on-Insulator Technology: Materials to VLSI, Third Edition, retraces the evolution of SOI materials, devices and circuits over a period of roughly twenty years. Twenty years of progress, research and development during which SOI material fabrication techniques have been born and abandoned, devices have been invented and forgotten, but, most importantly, twenty years during which SOI Technology has little by little proven it could outperform bulk silicon in every possible way. The turn of the century turned out to be a milestone for the semiconductor industry, as high-quality SOI wafers suddenly became available in large quantities. From then on, it took only a few years to witness the use of SOI technology in a wealth of applications ranging from audio amplifiers and wristwatches to 64-bit microprocessors.
This book presents a complete and state-of-the-art review of SOI materials, devices and circuits. SOI fabrication and characterization techniques, SOI CMOS processing, and the physics of the SOI MOSFET receive an in-depth analysis.