Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

این کتابچه راهنمای روشی بررسی عناصر مرتبط با فرم و عملکردی میکروتکنیک سیلیکون حجیم را ارائه می دهد. این یک توصیف سیستماتیک از عناصر شکل ساده و عناصر برای کاربردهای مکانیکی، سیال و نوری است. این راهنما شامل دستورالعمل‌های عملی برای استفاده از تکنیک‌های مربوطه و مجموعه گسترده‌ای از مثال‌ها برای پشتیبانی از جستجوی برنامه‌ها از طریق عکس‌ها، نقشه‌ها و مراجع است. این به عنوان یک راهنمای ارزشمند برای طراحی ماسک‌های اچ و فرآیندها عمل می‌کند و در عین حال خصوصیات مهم سیلیکون را خلاصه می‌کند، به‌ویژه تولیدکنندگان حسگرها و اجزای میکروتکنیکی و همچنین تولیدکنندگان اجزای مهندسی دقیق و کاربردهای نوری را هدف قرار می‌دهد.

This methodic manual presents a survey of the form-related and functional elements of the bulk silicon microtechnique. It gives a systematic description of simple shape elements and of elements for mechanical, fluidic and optical applications. This manual includes practical instructions for the use of the relevant techniques and an extensive collection of examples for the support of the search for applications via photographs, drawings and references. It serves as a valuable guide to the design of etch masks and processes while summarizing the important properties of silicon, especially aiming at producers of sensors and microtechnical components, as well as producers of components of precision engineering and optical applications.