Scaling Issues and Design of MEMS

ویرایش:  
نویسندگان: Salvatore Baglio,  Salvatore Castorina,  Nicolo Savalli(auth.)  
سری:  
ISBN (شابک) : 9780470016992, 9780470034071 
ناشر:  
سال نشر: 2008 
تعداد صفحات: 237 
زبان: English 
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) 
حجم فایل: 10 مگابایت 

قیمت کتاب (تومان) : 32,000

این حجم قابل دسترسی یک روش طراحی کامل برای سیستم های میکروالکترومکانیکی (MEMS) ارائه می دهد. با تمرکز بر مقیاس‌بندی یک میکروسیستم مستقل، مشکلات دنیای واقعی و مفاهیم نظری چندین جنبه مختلف ذاتی کوچک‌سازی حسگرها و محرک‌ها را توضیح می‌دهد. این گزارش در مورد تجزیه و تحلیل مقیاس ابعادی، مدل‌سازی، طراحی و توصیف تجربی طیف وسیعی از دستگاه‌ها و کاربردهای خاص، از جمله:

• ریزحسگرهای دما بر اساس یکپارچه ترموکوپل مکمل اکسید فلزی نیمه هادی (CMOS)؛
• سنسورهای مکانیکی.
• ریزحسگرهای القایی برای تشخیص ذرات مغناطیسی.
• عملگرهای الکترواستاتیک، حرارتی و مغناطیسی.

با رویکردی اصیل، این متن آموزنده شامل طیف وسیعی از موضوعاتی است که در حال حاضر در خط مقدم MEMS قرار دارند، از جمله تجزیه و تحلیل موضوع مهم منابع انرژی در MEMS. علاوه بر این، این کتاب تحقیقات معاصر را در مورد طراحی MEMS کامل با مطالعه موردی روی مستعمرات میکروربات ها بررسی می کند. هدف

مسائل مقیاس‌بندی و طراحی MEMS بهبود دانش اولیه خواننده در مورد مسائل مدل‌سازی دستگاه‌های میکرو پیچیده و تشویق تفکر جدید در مورد اثرات مقیاس‌بندی است. این برنامه برای مهندسین شاغل در صنایع دفاعی پشتیبانی خواهد کرد و همچنین مورد علاقه دانشجویان فارغ التحصیل و محققان با پیشینه مهندسی الکترونیک، فیزیک، شیمی، زیست شناسی و علم مواد خواهد بود. محتوا:
فصل 1 مقیاس بندی MEMS (صفحات 1-17):
فصل 2 مقیاس گذاری میکرومحرک ها - مروری بر (صفحه های 19-52):
فصل 3 مقیاس بندی سنسورهای حرارتی (صفحات 53-72):
فصل 4 سنسورهای القایی برای مغناطیسی فیلدها (صفحات 73-101):
فصل 5 مقیاس بندی سنسورهای مکانیکی (صفحات 103-148):
فصل 6 مقیاس بندی منابع انرژی (صفحات 149-168):
فصل 7 فناوری ها و معماری ها برای خودمختار میکروربات‌های MEMS (صفحات 169-178):
فصل 8 حرکت به سوی مقیاس نانو (صفحه‌های 179-187):
فصل 9 نمونه‌هایی از تجزیه و تحلیل اثرات مقیاس‌پذیری - DIEES?MEMSLAB (صفحه‌های 189-220):
فصل 10 نکته پایانی (صفحات 221-222):

This accessible volume delivers a complete design methodology for microelectromechanical systems (MEMS). Focusing on the scaling of an autonomous micro-system, it explains the real-world problems and theoretical concepts of several different aspects inherent to the miniaturization of sensors and actuators. It reports on the analysis of dimensional scaling, the modelling, design and experimental characterization of a wide range of specific devices and applications, including:

• temperature microsensors based on an integrated complementary metal-oxide-semiconductor (CMOS) thermocouple;
• mechanical sensors;
• inductive microsensors for the detection of magnetic particles;
• electrostatic, thermal and magnetic actuators.

With an original approach, this informative text encompasses the entire range of themes currently at the forefront of MEMS, including an analysis of the importantissue of energy sources in MEMS. In addition, the book explores contemporary research into the design of complete MEMS with a case study on colonies of microbots. 

Scaling Issues and Design of MEMS aims to improve the reader’s basic knowledge on modelling issues of complex micro devices, and to encourage new thinking about scaling effects. It will provide support for practising engineers working within the defence industry and will also be of welcome interest to graduate students and researchers with a background in electronic engineering, physics, chemistry, biology and materials science.Content:
Chapter 1 Scaling of MEMS (pages 1–17):
Chapter 2 Scaling of Microactuators – An Overview (pages 19–52):
Chapter 3 Scaling of Thermal Sensors (pages 53–72):
Chapter 4 Inductive Sensors for Magnetic Fields (pages 73–101):
Chapter 5 Scaling of Mechanical Sensors (pages 103–148):
Chapter 6 Scaling of Energy Sources (pages 149–168):
Chapter 7 Technologies and Architectures for Autonomous MEMS Microrobots (pages 169–178):
Chapter 8 Moving Towards the Nanoscale (pages 179–187):
Chapter 9 Examples of Scaling Effects Analysis – DIEES?MEMSLAB (pages 189–220):
Chapter 10 Concluding Remarks (pages 221–222):