Resonant MEMS: Principles, Modeling, Implementation, and Applications

این کتاب که بخشی از سری کتاب‌های AMN است، اصول، مدل‌سازی و پیاده‌سازی و همچنین کاربردهای MEMS رزونانس را از دیدگاهی یکپارچه پوشش می‌دهد. این مقاله با معادلات و پدیده‌های اساسی که بر رفتار MEMS تشدید کننده حاکم هستند شروع می‌شود و سپس یک نمای کلی از اجرای آنها در دستگاه‌های خازنی، پیزوالکتریک، حرارتی و آلی ارائه می‌دهد که با فصل‌هایی که به بسته‌بندی دستگاه‌ها و پایداری آنها می‌پردازند تکمیل می‌شود. بخش آخر کتاب به کاربردهای پیشرفته MEMS تشدید کننده مانند حسگرهای اینرسی، شیمیایی و زیستی، حسگرهای خواص سیال، دستگاه های زمان بندی و سیستم های برداشت انرژی اختصاص دارد.

Part of the AMN book series, this book covers the principles, modeling and implementation as well as applications of resonant MEMS from a unified viewpoint. It starts out with the fundamental equations and phenomena that govern the behavior of resonant MEMS and then gives a detailed overview of their implementation in capacitive, piezoelectric, thermal and organic devices, complemented by chapters addressing the packaging of the devices and their stability. The last part of the book is devoted to the cutting-edge applications of resonant MEMS such as inertial, chemical and biosensors, fluid properties sensors, timing devices and energy harvesting systems.