Reactive Sputter Deposition

استفاده از لایه های نازک به طور مداوم در حال گسترش است. در خانواده تکنیک‌های رسوب بخار فیزیکی، کندوپاش یکی از مهم‌ترین روش‌های 40 سال گذشته است. در این کتاب، تمام جنبه‌های فرآیند کندوپاش مگنترون راکتیو، از تخلیه تا رشد لایه نازک حاصل، به تفصیل شرح داده شده است و به خواننده اجازه می‌دهد تا فرآیند کامل را درک کند. از این رو، این کتاب اطلاعات لازم را در اختیار کسانی قرار می دهد که می خواهند:

- با کندوپاش مگنترون واکنشی شروع کنند

- این تکنیک را درک و بررسی کنند

- کندوپاش خود را کنترل کنند. process

- روند موجود خود را تنظیم کنید و لایه های نازک مورد نظر را به دست آورید.

The use of thin films is continuously expanding. In the family of Physical Vapour Deposition techniques, sputtering is one of the most important over the past 40 years. In this book, all aspects of the reactive magnetron sputtering process, from the discharge up to the resulting thin film growth, are described in detail, allowing the reader to understand the complete process. Hence, this book gives necessary information for those who want to:

- start with reactive magnetron sputtering

- understand and investigate the technique

- control their sputtering process

- tune their existing process, obtaining the desired thin films.