دسترسی نامحدود
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
برای ارتباط با ما می توانید از طریق شماره موبایل زیر از طریق تماس و پیامک با ما در ارتباط باشید
در صورت عدم پاسخ گویی از طریق پیامک با پشتیبان در ارتباط باشید
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
درصورت عدم همخوانی توضیحات با کتاب
از ساعت 7 صبح تا 10 شب
دسته بندی: ابزار ویرایش: 1 نویسندگان: Victor E. Borisenko, Peter J. Hesketh (auth.) سری: Microdevices ISBN (شابک) : 9781489918062, 9781489918048 ناشر: Springer US سال نشر: 1997 تعداد صفحات: 374 زبان: English فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) حجم فایل: 15 مگابایت
کلمات کلیدی مربوط به کتاب پردازش حرارتی سریع نیمه هادی ها: مواد نوری و الکترونیکی، فیزیک حالت جامد، طیف سنجی و میکروسکوپ
در صورت تبدیل فایل کتاب Rapid Thermal Processing of Semiconductors به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.
توجه داشته باشید کتاب پردازش حرارتی سریع نیمه هادی ها نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.
پردازش حرارتی سریع به توسعه ابزارهای پردازش خوشهای ویفر و سایر نوآوریها در محیطهای تولید مدار مجتمع کمک کرده است. Borisenko و Hesketh پیشرفت نظری و تجربی در این زمینه را بررسی میکنند و در مورد طیف وسیعی از مواد، فرآیندها و شرایط بحث میکنند. آنها به طور کامل کار بازرسان بین المللی در این زمینه را پوشش می دهند.
Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.
Front Matter....Pages i-xxii
Transient Heating of Semiconductors by Radiation....Pages 1-29
Recrystallization of Implanted Layers and Impurity Behavior in Silicon Crystals....Pages 31-91
Crystallization, Impurity Diffusion, and Segregation in Polycrystalline Silicon....Pages 93-111
Component Evaporation, Defect Annealing, and Impurity Diffusion in the III–V Semiconductors....Pages 113-148
Diffusion Synthesis of Silicides in Thin-Film Metal—Silicon Structures....Pages 149-191
Rapid Thermal Oxidation and Nitridation....Pages 193-252
Rapid Thermal Chemical Vapor Deposition....Pages 253-300
Back Matter....Pages 301-358