دسترسی نامحدود
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
دانلود کتاب Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
دانلود کتاب فناوری فرآیند: فرآیند ساخت مدارهای MOS مجتمع
مشخصات کتاب
Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
ویرایش: 1 نویسندگان: Dr. rer. nat. Günter Schumicki, Dr.-Ing. Peter Seegebrecht (auth.) سری: Mikroelektronik ISBN (شابک) : 9783540176701, 9783662095409 ناشر: Springer-Verlag Berlin Heidelberg سال نشر: 1991 تعداد صفحات: 508 زبان: German فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) حجم فایل: 25 مگابایت
قیمت کتاب (تومان) : 42,000
کلمات کلیدی مربوط به کتاب فناوری فرآیند: فرآیند ساخت مدارهای MOS مجتمع: است
در صورت تبدیل فایل کتاب Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.
توجه داشته باشید کتاب فناوری فرآیند: فرآیند ساخت مدارهای MOS مجتمع نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.
توضیحاتی در مورد کتاب فناوری فرآیند: فرآیند ساخت مدارهای MOS مجتمع
فناوری فرآیند با فرآیندهای ساخت مدارهای مجتمع در فناوری CMOS سر و کار دارد. فرآیندهای فردی که به تولید ساختار، انتقال ساختار، تولید لایه و اصلاح لایه نسبت داده می شوند، ابتدا مورد بحث قرار می گیرند. سپس نشان داده خواهد شد که چگونه فرآیندهای فردی در یک فرآیند کلی برای تولید مدارهای CMOS ادغام می شوند. توصیف فرآیندها و توسعه قوانین طراحی مورد بحث قرار می گیرد. این کتاب بر اساس تجربیات فراوان فن‌آوران تولید محور است.
توضیحاتی درمورد کتاب به خارجی
Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
فهرست مطالب
Front Matter....Pages I-XVI
Einleitung....Pages 1-4
Reinstraumtechnologie....Pages 5-22
Materialtechnologie....Pages 23-52
Strukturerzeugung....Pages 53-103
Strukturübertragung....Pages 105-142
Thermische Oxidation....Pages 143-188
CVD-Verfahren....Pages 189-242
Metallisierung....Pages 243-260
Diffusionsverfahren....Pages 261-288
Ionenimplantation....Pages 289-320
Reinigungsverfahren....Pages 321-325
Prozeßintegration....Pages 327-383
Design-Regeln....Pages 385-402
Prozeßcharakterisierung....Pages 403-436
Prozeßkontrolle....Pages 437-449
Ausbeute und Zuverlässigkeit....Pages 451-467
Back Matter....Pages 469-500
