New Approaches to Image Processing Based Failure Analysis of Nano-Scale ULSI Devices

رویکردهای جدید برای تجزیه و تحلیل شکست مبتنی بر پردازش تصویر دستگاه‌های ULSI در مقیاس نانو خواننده را با پردازش تصویر میکروسکوپ روبشی و انتقالی برای ریزساختارهای فلزی و غیرفلزی آشنا می‌کند.

مهندسان و دانشمندان با مشکل مبرم در توسعه ULSI و تضمین کیفیت روبرو هستند: روش‌های میکروسکوپی نمی‌توانند با کاهش مداوم اندازه ویژگی در میکروالکترونیک همگام شوند. اندازه‌های مقیاس نانومتری کمتر از وضوح نور هستند و تصویربرداری از این ویژگی‌ها حتی با میکروسکوپ‌های الکترونی به دلیل نویز تصویر تقریباً غیرممکن است.

این کتاب روش‌ها، برنامه‌های کاربردی و پردازش تصویر جدید «هوشمند» را ارائه می‌کند. مطالعات موردی در مورد بهبود کیفیت تصاویر میکروسکوپی تراشه های میکروالکترونیک و بهینه سازی فرآیند این روش برای تصویربرداری با وضوح بالا از متالیزاسیون پیشرفته برای میکرو و نانوالکترونیک توضیح می دهد. این رویکرد از آماده‌سازی و انتخاب زمان‌بر اندازه‌گیری میکروسکوپ و شرایط نمونه جلوگیری می‌کند و نه تنها وضوح الکترونی-میکروسکوپی بهتر، بلکه آزمایش و کنترل کیفیت کارآمدتر را نیز ممکن می‌سازد. این به نوبه خود منجر به افزایش بهره‌وری در طراحی و توسعه تراشه‌های ULSI در مقیاس نانو می‌شود.

نویسندگان همچنین چندین رویکرد را برای تصاویر فوق‌العاده با وضوح پایین ارائه می‌کنند تا تجزیه و تحلیل خرابی تراشه‌های میکروالکترونیک را بهبود بخشند.

• کاربران را با رویکردهای جدید مبتنی بر نرم افزار برای بهبود تصویربرداری میکروسکوپی با وضوح بالا از ساختارهای ریزتراشه آشنا می کند
• نشان می دهد که چگونه این روش ها منجر به افزایش بهره وری در توسعه تراشه های ULSI می شوند
• تکنیک‌های متعددی را برای وضوح فوق‌العاده تصاویر ارائه می‌کند که به مهندسان و دانشمندان امکان می‌دهد نتایج خود را در تجزیه و تحلیل خرابی تراشه‌های میکروالکترونیک بهبود بخشند

New Approaches to Image Processing Based Failure Analysis of Nano-Scale ULSI Devices introduces the reader to transmission and scanning microscope image processing for metal and non-metallic microstructures.

Engineers and scientists face the pressing problem in ULSI development and quality assurance: microscopy methods can't keep pace with the continuous shrinking of feature size in microelectronics. Nanometer scale sizes are below the resolution of light, and imaging these features is nearly impossible even with electron microscopes, due to image noise.

This book presents novel ''smart'' image processing methods, applications, and case studies concerning quality improvement of microscope images of microelectronic chips and process optimization. It explains an approach for high-resolution imaging of advanced metallization for micro- and nanoelectronics. This approach obviates the time-consuming preparation and selection of microscope measurement and sample conditions, enabling not only better electron-microscopic resolution, but also more efficient testing and quality control. This in turn leads to productivity gains in design and development of nano-scale ULSI chips.

The authors also present several approaches for super-resolving low-resolution images to improve failure analysis of microelectronic chips.

• Acquaints users with new software-based approaches to enhance high-resolution microscope imaging of microchip structures
• Demonstrates how these methods lead to productivity gains in the development of ULSI chips
• Presents several techniques for the superresolution of images, enabling engineers and scientists to improve their results in failure analysis of microelectronic chips