Nanopositioning Technologies: Fundamentals and Applications

این کتاب آخرین فناوری‌های موقعیت‌یابی با وضوح و دقت نانومتری را پوشش می‌دهد، به‌ویژه آن‌هایی که مبتنی بر محرک‌های پیزوالکتریک و محرک‌های MEMS هستند. آخرین پیشرفت‌ها از جمله طراحی دستگاه‌های موقعیت‌یابی نانو، فناوری‌های حسگر و فعال‌سازی و روش‌های کنترل برای موقعیت‌یابی نانو شرح داده شده‌اند. این یک کتاب ایده آل برای دانشجویان و محققین مهندسی مکانیک و برق است. محققان میکرو و نانوفناوری و دانشجویان تحصیلات تکمیلی؛ و همچنین کسانی که در صنایع ابزار دقیق یا نیمه هادی کار می کنند.

This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and accuracies, particularly those based on piezoelectric actuators and MEMS actuators. The latest advances are described, including the design of nanopositioning devices, sensing and actuation technologies and control methods for nanopositioning. This is an ideal book for mechanical and electrical engineering students and researchers; micro and nanotechnology researchers and graduate students; as well as those working in the precision instrumentation or semiconductor industries.