Microwave Plasma Sources and Methods in Processing Technology

معرفی عملی بر پلاسما مایکروویو برای پردازش برنامه‌های کاربردی در فشارهای مختلف

در منابع پلاسمای مایکروویو و روش‌ها در فناوری پردازش ، تیمی از محققان برنده جایزه، مقدمه ای جامع در مورد امواج مایکروویو و پلاسماهای تولید شده توسط مایکروویو ارائه می دهند. ایده آل برای هر کسی که علاقه مند به پلاسماهای تخلیه گاز غیر حرارتی و کاربردهای آن است، این کتاب شامل توضیحات مفصل، توضیحات و راهنمایی عملی برای مطالعه و استفاده از توان مایکروویو، اجزای مایکروویو، پلاسما و تولید پلاسما است.

این مرجع شامل بیش از 130 نمودار تمام رنگی برای نشان دادن مفاهیم مورد بحث در داخل است. نویسندگان برجسته در مورد پلاسماهای تولید شده در سطوح مختلف قدرت و همچنین کاربردهای آنها در فشارهای کاهش یافته، جوی و بالاتر بحث می کنند. آنها همچنین پلاسماهای داخل مایعات و فعل و انفعالات پلاسما را با شعله های احتراق توصیف می کنند.

منابع و روش‌های پلاسمای مایکروویو در فناوری پردازش با اکتشاف دقیق روندهای جدید در مطالعه و کاربرد تخلیه‌های مایکروویو به پایان می‌رسد و زمینه‌های مطالعاتی جدید امیدوارکننده‌ای را ارائه می‌دهد.

این کتاب همچنین شامل موارد زیر است:

• معرفی کامل بر اصول اولیه تکنیک‌های مایکروویو و سیستم‌های قدرت، از جمله تاریخچه فناوری، ژنراتورهای مایکروویو، موجبرها و موج انتشار
• کاوشی جامع از اصول فیزیک پلاسماهای تخلیه گاز، از جمله تولید پلاسما، ضرایب تاونسند، و منحنی پاسشن
• مباحث عملی در مورد برهمکنش پلاسما و سطوح جامد و گازها، از جمله PVD، PE CVD، اکسیداسیون، کندوپاش، تبخیر، اچ خشک، فعال سازی سطح، و تمیز کردن
• بررسی های عمیق سیستم های پلاسما مایکروویو برای پردازش پلاسما در پارامترهای مختلف
ul>

ایده آل برای محققان و مهندسان در جامعه مایکروویو، و همچنین کسانی که با برنامه های پلاسما کار می کنند، منابع پلاسمای مایکروویو و روش ها در فناوری پردازش نیز جایگاهی در کتابخانه های فارغ التحصیل کسب خواهد کرد. و دانشجویان دکترا در حال تحصیل در رشته فیزیک مهندسی cs، مهندسی مایکروویو، و پلاسما.

A practical introduction to microwave plasma for processing applications at a variety of pressures

In Microwave Plasma Sources and Methods in Processing Technology, an award-winning team of researchers delivers a comprehensive introduction to microwaves and microwave-generated plasmas. Ideal for anyone interested in non-thermal gas discharge plasmas and their applications, the book includes detailed descriptions, explanations, and practical guidance for the study and use of microwave power, microwave components, plasma, and plasma generation.

This reference includes over 130 full-color diagrams to illustrate the concepts discussed within. The distinguished authors discuss the plasmas generated at different levels of power, as well as their applications at reduced, atmospheric and higher pressures. They also describe plasmas inside liquids and plasma interactions with combustion flames.

Microwave Plasma Sources and Methods in Processing Technology concludes with an incisive exploration of new trends in the study and application of microwave discharges, offering promising new areas of study.

The book also includes:

• A thorough introduction to the basic principles of microwave techniques and power systems, including a history of the technology, microwave generators, waveguides, and wave propagation
• A comprehensive exploration of the fundamentals of the physics of gas discharge plasmas, including plasma generation, Townsend coefficients, and the Paschen curve
• Practical discussions of the interaction between plasmas and solid surfaces and gases, including PVD, PE CVD, oxidation, sputtering, evaporation, dry etching, surface activation, and cleaning
• In-depth examinations of microwave plasma systems for plasma processing at varied parameters

Perfect for researchers and engineers in the microwave community, as well as those who work with plasma applications, Microwave Plasma Sources and Methods in Processing Technology will also earn a place in the libraries of graduate and PhD students studying engineering physics, microwave engineering, and plasmas.