Micromachining Techniques for Fabrication of Micro and Nano Structures

دسته بندی: مهندسی مکانیک
ویرایش:  
نویسندگان: Kahrizi M. (Ed.)  
سری:  
 
ناشر:  
سال نشر:  
تعداد صفحات: 312 
زبان: English 
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) 
حجم فایل: 39 مگابایت 

قیمت کتاب (تومان) : 58,000

Rijeka: InTech، 2012 - 300 p. – ISBN: 978-953-307-906-6 میکروماشینینگ برای ساخت ریزساختارهای سه بعدی استفاده می شود و این پایه و اساس فناوری به نام Micro-Electro- است. سیستم های مکانیکی (MEMS). ریزماشین کاری فله و ریزماشین کاری سطحی دو دسته اصلی (در میان سایرین) در این زمینه هستند. این کتاب پیشرفت‌های فناوری ریزماشینکاری را ارائه می‌کند. برای این منظور، مقالات مروری مرتبط با تکنیک‌ها و روش‌های مختلف ساخت میکرو/نانو مانند پرتوهای یون متمرکز، فرسایش لیزر و چندین تکنیک تخصصی دیگر را از محققان و دانشمندان محترم در سراسر جهان گردآوری کرده‌ایم. هر فصل شرح کاملی از یک روش ریزماشینکاری خاص، طراحی، کارهای تحلیلی مرتبط، راه اندازی آزمایشی، و دستگاه های ساخته شده نهایی را ارائه می دهد، و به دنبال آن منابع بسیاری مرتبط با این زمینه تحقیقاتی موجود در ادبیات دیگر ارائه می شود. با توجه به ماهیت چند رشته ای این فناوری، مجموعه مقالات ارائه شده در اینجا می تواند مورد استفاده دانشمندان و محققان رشته های مهندسی، علوم مواد، فیزیک و شیمی قرار گیرد.

Rijeka: InTech, 2012 - 300 p. – ISBN: 978-953-307-906-6 Micromachining is used to fabricate three-dimensional microstructures and it is the foundation of a technology called Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS). Bulk micromachining and surface micromachining are two major categories (among others) in this field. This book presents advances in micromachining technology. For this, we have gathered review articles related to various techniques and methods of micro/nano fabrications, like focused ion beams, laser ablation, and several other specialized techniques, from esteemed researchers and scientists around the world. Each chapter gives a complete description of a specific micromachining method, design, associate analytical works, experimental set-up, and the final fabricated devices, followed by many references related to this field of research available in other literature. Due to the multidisciplinary nature of this technology, the collection of articles presented here can be used by scientists and researchers in the disciplines of engineering, materials sciences, physics, and chemistry. Preface
Focused Ion Beam Based
Three-Dimensional Nano-Machining
Miniature Engineered Tapered Fiber Tip Devices by Focused Ion Beam Micromachining
Fundamentals of Laser Ablation of the Materials Used in Microf luiducs
Microwave Meta-Material Absorbers Utilizing Laser Micro-Machining Technology
Laser Micromachining and Micro-Patterning with a Nanosecond UV Laser
Laser Ablation for Polymer Waveguide Fabrication
Micro Eletro Discharge Milling for Microfabrication
Mechanical Micromachining by Drilling, Milling and Slotting
Release Optimization of Suspended Membranes in MEMS
Micro Abrasive-Waterjet Technology
Electrochemical Spark Micromachining Process
Integrated MEMS: Opportunities & Challenges
Modeling and Simulation of MEMS Components: Challenges and Possible Solutions