Microelectronic Test Structures for CMOS Technology

ساختارهای تست میکروالکترونیک برای فناوری و محصولات CMOS به مفاهیم اساسی طراحی ساختارهای آزمایشی برای ادغام در وسایل نقلیه آزمایشی، خطوط اسکریپت و محصولات CMOS می پردازد. نقش ساختارهای آزمایشی در توسعه و نظارت بر فناوری‌ها و محصولات CMOS با افزایش هزینه و پیچیدگی توسعه و ساخت اهمیت بیشتری یافته است. در این جلد به موقع، دانشمندان IBM Manjul Bhushan و Mark Ketchen بر تکنیک‌های مشخص‌سازی سرعت بالا برای کاربردهای مدار دیجیتال CMOS و پل زدن بین عملکرد مدار و ویژگی‌های MOSFET و سایر عناصر مدار تأکید می‌کنند. نمونه های مفصلی در سراسر ارائه شده است، که بسیاری از آنها به همان اندازه برای سایر فناوری های میکروالکترونیک نیز قابل استفاده هستند. هدف اصلی نویسندگان ارائه یک راهنمای عملی به دانشجویان و متخصصان فناوری برای طراحی منظم و استفاده از ساختارهای آزمایشی است که اطلاعات روشنی در مورد پارامترها و عملکرد فناوری CMOS دیجیتال ارائه می‌دهد.

Microelectronic Test Structures for CMOS Technology and Products addresses the basic concepts of the design of test structures for incorporation within test-vehicles, scribe-lines, and CMOS products. The role of test structures in the development and monitoring of CMOS technologies and products has become ever more important with the increased cost and complexity of development and manufacturing. In this timely volume, IBM scientists Manjul Bhushan and Mark Ketchen emphasize high speed characterization techniques for digital CMOS circuit applications and bridging between circuit performance and characteristics of MOSFETs and other circuit elements. Detailed examples are presented throughout, many of which are equally applicable to other microelectronic technologies as well. The authors’ overarching goal is to provide students and technology practitioners alike a practical guide to the disciplined design and use of test structures that give unambiguous information on the parametrics and performance of digital CMOS technology.