MEMS Materials and Processes Handbook

راهنمای مواد و فرآیندهای MEMS یک مرجع جامع برای محققانی است که در جستجوی مواد جدید، خواص مواد شناخته شده، یا فرآیندهای خاص موجود برای ساخت MEMS هستند. محتوا به بخش‌های مجزا در «مواد» و «فرایندها» تقسیم می‌شود. "راهنمای انتخاب مواد" و "پایگاه داده مواد" خواننده را از طریق انتخاب مواد مناسب برای کار مورد نیاز راهنمایی می کند. بخش «فرآیندها» کتاب به‌عنوان فهرستی از فرآیندهای ساخت میکروساخت مختلف سازمان‌دهی شده است که هرکدام با معرفی مختصری از فناوری، و همچنین نمونه‌هایی از کاربردهای متداول در MEMها ارائه می‌شوند. این کتاب همچنین: کاتالوگ جامعی از فرآیندهای مختلف ریزساخت ارائه می‌کند، هر کدام با معرفی مختصری از فناوری، و همچنین نمونه‌هایی از کاربردهای رایج در MEMS، در مورد تکنیک‌های خاص ساخت MEMS مانند افزودنی، تفریق، و لیتوگرافی/الگوسازی و همچنین بحث می‌کند. روش‌های چسباندن ویفر، دوپینگ، درمان/آماده‌سازی سطح و تکنیک‌های مشخص‌سازی چک لیست سریع مزایا/مضرات ساخت را در اختیار خواننده قرار می‌دهد. .

MEMS Materials and Processes Handbook is a comprehensive reference for researchers searching for new materials, properties of known materials, or specific processes available for MEMS fabrication. The content is separated into distinct sections on 'Materials' and 'Processes'. The extensive 'Material Selection Guide' and a 'Material Database' guides the reader through the selection of appropriate materials for the required task at hand. The 'Processes' section of the book is organized as a catalog of various microfabrication processes, each with a brief introduction to the technology, as well as examples of common uses in MEMs. The book also: Provides a comprehensive catalog of various microfabrication processes, each with a brief introduction to the technology, as well as examples of common uses in MEMS Discusses specific MEMS fabrication techniques such as additive, subtractive, and lithography/patterning, as well as wafer bonding, doping, surface treatment/preparation, and characterization techniques Provides the reader with a quick check list of the advantage/disadvantage of fabrication MEMS Material and Processes Handbook will be a valuable book for researchers, engineers and students working in MEMS and materials processing.