دسترسی نامحدود
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
دانلود کتاب Lithography Process Control
دانلود کتاب کنترل فرآیند لیتوگرافی
مشخصات کتاب
Lithography Process Control
ویرایش:
نویسندگان: Harry J. Levinson
سری: SPIE Tutorial Texts in Optical Engineering Vol. TT28
ISBN (شابک) : 0819430528, 9780819430526
ناشر: SPIE Publications
سال نشر: 1999
تعداد صفحات: 198
زبان: English
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود)
حجم فایل: 13 مگابایت
قیمت کتاب (تومان) : 64,000
در صورت تبدیل فایل کتاب Lithography Process Control به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.
توجه داشته باشید کتاب کنترل فرآیند لیتوگرافی نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.
توضیحاتی در مورد کتاب کنترل فرآیند لیتوگرافی
کنترل فرآیند لیتوگرافی را در چندین سطح، از موضوعات اساسی تا
پیشرفته پوشش می دهد. خودآموز هم به عنوان مقدمه ای بر فناوری و
هم به عنوان مرجعی برای لیتوگراف با تجربه عمل می کند. مبانی
کنترل فرآیند آماری را به عنوان پیش زمینه موضوعات پیشرفته مانند
فرآیندهای پیچیده و بازخورد بررسی می کند.
مطالب
- پیشگفتار
- مقدمه ای بر استفاده از کنترل فرآیند آماری در لیتوگرافی<
br> - نمونه برداری
- فرآیندهای ساده و پیچیده
- کنترل پهنای خط
- همپوشانی
- بازده
- رانش فرآیند و کنترل خودکار فرآیند
- مترولوژی
- کنترل عملیات
توضیحاتی درمورد کتاب به خارجی
Covers lithography process control at several levels, from
fundamental through advanced topics. Self-contained tutorial
works both as an introduction to the technology and as a
reference for the experienced lithographer. Reviews the
foundations of statistical process control as background for
advanced topics such as complex processes and feedback.
Contents
- Preface
- Introduction to the use of statistical process control in
lithography
- Sampling
- Simple and complex processes
- Linewidth control
- Overlay
- Yield
- Process drift and automatic process control
- Metrology
- Control of operations
فهرست مطالب
TT28_frontmatter......Page 1
TT28_ch1......Page 11
TT28_ch2......Page 36
TT28_ch3......Page 51
TT28_ch4......Page 64
TT28_ch5......Page 94
TT28_ch6......Page 126
TT28_ch7......Page 138
TT28_ch8......Page 148
TT28_ch9......Page 167
TT28_backmatter......Page 175
نظرات کاربران
کتاب های تصادفی
دانلود کتاب Absolument dé-bor-dée !: ou le paradoxe du fonctionnaire
دانلود کتاب Critical appraisal for FCEM
دانلود کتاب Світові агротехнології
دانلود کتاب Politik und Wirtschaftswachstum: Ein internationaler Vergleich
