دسترسی نامحدود
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
برای ارتباط با ما می توانید از طریق شماره موبایل زیر از طریق تماس و پیامک با ما در ارتباط باشید
در صورت عدم پاسخ گویی از طریق پیامک با پشتیبان در ارتباط باشید
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
درصورت عدم همخوانی توضیحات با کتاب
از ساعت 7 صبح تا 10 شب
ویرایش:
نویسندگان: Dr. rer. nat. Gerhard Franz (auth.)
سری:
ISBN (شابک) : 9783540531609, 9783662080450
ناشر: Springer Berlin Heidelberg
سال نشر: 1990
تعداد صفحات: 308
زبان: German
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود)
حجم فایل: 10 مگابایت
کلمات کلیدی مربوط به کتاب پلاسمای سرد: اصول ، ظاهر ، کاربردها: مهندسی، عمومی، الکترونیک و میکروالکترونیک، ابزار دقیق، فیزیک اتمی، مولکولی، نوری و پلاسما
در صورت تبدیل فایل کتاب Kalte Plasmen: Grundlagen, Erscheinungen, Anwendungen به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.
توجه داشته باشید کتاب پلاسمای سرد: اصول ، ظاهر ، کاربردها نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.
این کتاب نشان دهنده پلی است بین بسیاری از انتشارات نظری در زمینه پلاسماهای کم فشار و انتشارات پدیدارشناسی در کاربردها، به ویژه برای تولید و اصلاح لایه ها. نویسنده به ویژه ادبیات نظری در مورد توابع توزیع انرژی الکترون، پراکندگی ذرات دارد. در سپرهای پلاسما و همچنین پوشش و ساختار سطحی که با تحقیقات تجربی خود ما کار و تأیید شد. از آنجایی که خواندن آن را آسان تر می کند فقط مشتقات نسبتا کمی در متن پیوسته ساخته شده است و اینها در ضمیمه ها ذکر شده اند، اگرچه برای درک عمیق تر لازم هستند اما همیشه ساده نیستند. مثالهای کاربردی متعددی از فرآیندهای پلاسما، هم تلاش فنی کم و هم سازگاری زیستمحیطی فرآیندهای مبتنی بر تخلیههای درخششی (از جمله کندوپاش، پرتو یونی و حکاکی یونی) را نشان میدهند.
Dieses Buch stellt eine Br?cke zwischen den vielen theoretischen Ver?ffentlichungen auf dem Gebiet der Niederdruckplasmen und den ph?nomenologisch orientierten ?ber Anwendungen vor allem zur Schichterzeugung und -modifikation dar. Der Autor hat insbesondere die theoretische Literatur ?ber Elektronen-Energie- Verteilungsfunktionen, Partikelstreuung in den Plasmaschilden sowie Oberfl?chenbeschichtung und -strukturierung aufgearbeitet und mit eigenen experimentellen Untersuchungen belegt. Dabei dient es der leichteren Lesbarkeit, da? im fortlaufenden Text nur relativ wenige Ableitungen gebracht und diese zwar zum tieferen Verst?ndnis notwendigen, aber nicht immer einfachen Gedankeng?nge in Anh?nge aufgef?hrt werden. Zahlreiche Anwendungsbeispiele von Plasmaprozessen illustrieren sowohl den geringen technischen Aufwand als auch die Umweltvertr?glichkeit der auf Glimmentladungen beruhenden Verfahren (u.a. Sputtern, Ionenstrahl- und Ionen?tzen).
Front Matter....Pages I-X
Einleitung....Pages 1-3
Phänomenologische Beschreibung einer Gleichstrom-Glimmentladung....Pages 4-8
Das Plasma....Pages 9-21
Erzeugung von Ladungsträgern I....Pages 22-39
Erzeugung von Ladungsträgern II....Pages 40-59
RF-Entladungen....Pages 60-89
Sputtern....Pages 90-127
Trockenätzverfahren....Pages 128-163
Ätzmechanismen....Pages 164-175
Ionenstrahlsysteme....Pages 176-187
Cyclotron-Resonanz-Systeme....Pages 188-203
Ausblick....Pages 204-205
Anhang....Pages 206-267
Erklärung der verwendeten Symbole und Akronyme....Pages 268-271
Literaturverzeichnis....Pages 272-285
Back Matter....Pages 286-300