Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication

ویرایش: 1 
نویسندگان: Chris Mack  
سری:  
ISBN (شابک) : 0470018933, 9780470018934 
ناشر: Wiley-Interscience 
سال نشر: 2008 
تعداد صفحات: 455 
زبان: English 
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) 
حجم فایل: 7 مگابایت 

قیمت کتاب (تومان) : 46,000

ساخت یک مدار یکپارچه نیاز به انواع فرآیندهای فیزیکی و شیمیایی دارد که بر روی یک بستر نیمه هادی انجام شود. به طور کلی، این فرآیندها به سه دسته تقسیم می شوند: رسوب فیلم، الگوسازی و دوپینگ نیمه هادی. فیلم‌های رسانا و عایق برای اتصال و جداسازی ترانزیستورها و اجزای آنها استفاده می‌شوند.

با ایجاد ساختارهایی از این اجزای مختلف، میلیون‌ها ترانزیستور را می‌توان ساخت و سیم‌کشی کرد تا مدار پیچیده دستگاه‌های میکروالکترونیک مدرن را تشکیل دهند. اساس همه این فرآیندها لیتوگرافی است، یعنی تشکیل تصاویر برجسته سه بعدی بر روی بستر برای انتقال بعدی الگو به زیرلایه.

این کتاب یک درمان کامل نظری و عملی از مبحث لیتوگرافی برای هم دانشجویان و هم محققین. این شامل ده فصل مفصل به اضافه سه ضمیمه با مشکلات ارائه شده در پایان هر فصل است.

اطلاعات اضافی:
بازدید از http://www.lithoguru.com/textbook/index.html درک خواننده را افزایش می دهد زیرا وب سایت اطلاعاتی را در مورد چگونگی دانلود کتابچه راهنمای آزمایشگاهی رایگان، مدلسازی لیتوگرافی نوری با MATLAB®، به همراه کتاب درسی ارائه می دهد. شما همچنین می توانید با نویسنده تماس بگیرید و از مربیان کمک بگیرید

The fabrication of an integrated circuit requires a variety of physical and chemical processes to be performed on a semiconductor substrate. In general, these processes fall into three categories: film deposition, patterning, and semiconductor doping. Films of both conductors and insulators are used to connect and isolate transistors and their components.

By creating structures of these various components millions of transistors can be built and wired together to form the complex circuitry of modern microelectronic devices. Fundamental to all of these processes is lithography, ie, the formation of three-dimensional relief images on the substrate for subsequent transfer of the pattern to the substrate.

This book presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. It comprises ten detailed chapters plus three appendices with problems provided at the end of each chapter.

Additional Information:
Visiting http://www.lithoguru.com/textbook/index.html enhances the reader's understanding as the website supplies information on how you can download a free laboratory manual, Optical Lithography Modelling with MATLAB®, to accompany the textbook. You can also contact the author and find help for instructors