Electron Beam Testing Technology

اگرچه فعالیت اکتشافی و توسعه ای در آزمایش پرتو الکترونی (EBT) 25 سال بود، اما تا اوایل دهه 1980 در آزمایشگاه های تحقیقاتی وجود نداشت که به عنوان تکنیکی برای مدارهای مجتمع به طور جدی مورد توجه قرار گیرد. آی سی) تست در حالی که آی سی ها بر اساس قوانین طراحی چند میکرونی ساخته می شدند، کاوشگر مکانیکی به اندازه کافی برای کاوش تراشه داخلی استفاده می کرد. این سناریو با افزایش پیچیدگی دستگاه و کوچک شدن هندسه تغییر کرد و سازندگان آی سی را بر آن داشت تا به این فناوری آزمایش جدید توجه کنند. با این حال، چندین سال دیگر و سرمایه‌گذاری قابل‌توجهی از سوی تولیدکنندگان تستر پرتو الکترونی لازم بود تا سیستم‌های خودکار کاربرپسندی را که برای مهندسین آزمایش IC قابل قبول بود، ارائه کنم. در این سال‌های میانی شاهد فعالیت‌های شدید در توسعه ابزار دقیق، تکنیک‌های آزمایش و اتوماسیون سیستم بود، همانطور که با تکثیر مقالات فنی ارائه‌شده در کنفرانس‌ها مشهود است. با تغییر علاقه به سمت برنامه های کاربردی، ممکن است این فناوری اکنون به سن بلوغ رسیده باشد.

Although exploratory and developmental activity in electron beam testing (EBT) 25 years, it was not had already been in existence in research laboratories for over until the beginning of the 1980s that it was taken up seriously as a technique for integrated circuit (IC) testing. While ICs were being fabricated on design rules of several microns, the mechanical ne edle probe served quite adequately for internal chip probing. This scenario changed with growing device complexity and shrinking geometries, prompting IC manufacturers to take note ofthis new testing technology. It required several more years and considerable investment by electron beam tester manufacturers, however, to co me up with user-friendly automated systems that were acceptable to IC test engineers. These intervening years witnessed intense activity in the development of instrumentation, testing techniques, and system automation, as evidenced by the proliferation of technical papers presented at conferences. With the shift of interest toward applications, the technology may now be considered as having come of age.