Electron-Beam Interactions with Solids: Application of the Monte Carlo Method to Electron Scattering Problems

برهمکنش پرتوهای الکترونی با اهداف جامد از اوایل قرن گذشته مورد مطالعه قرار گرفته است. توجه کنونی به دلیل نقش اساسی برهمکنش الکترون-جامد در - در میان سایر زمینه ها - میکروسکوپ الکترونی روبشی، میکروآنالیز کاوشگر الکترونی و طیف سنجی الکترونی اوگر است. هدف این کتاب بررسی جنبه‌های انتخابی برهم‌کنش الکترون‌ها با ماده (ضریب بازپراکندگی برای اهداف توده‌ای، جذب، پراکندگی برگشتی و انتقال برای لایه‌های نازک ساپورت‌شده و بدون پشتیبانی، پروفایل‌های کاشت، انتشار الکترون ثانویه و غیره) است. مطالعه قوانین احتمالی برهمکنش تک تک الکترون ها با اتم ها (مقاطع الاستیک و غیر کشسان)؛ معرفی روش مونت کارلو و استفاده از آن برای محاسبه ویژگی های ماکروسکوپی فرآیندهای تعامل. هر فصل تئوری، شبیه سازی و داده های تجربی را با هم مقایسه می کند.

The interaction of electron beams with solid targets has been studied since the early part of the last century. Present interest is spurred on by the fundamental role played by the electron-solid interaction in - among other areas - scanning electron microscopy, electron-probe microanalysis and Auger electron spectroscopy. This book aims to investigate selected aspects of the interaction of electrons with matter (backscattering coefficient for bulk targets, absorption, backscattering and transmission for supported and unsupported thin films, implantation profiles, secondary electron emission and so on); to study the probabilistic laws of interaction of the individual electrons with the atoms (elastic and inelastic cross sections); to introduce the Monte Carlo method and its use for computing the macroscopic characteristics of the interaction processes. Each chapter compares theory, simulations and experimental data.