مشخصات کتاب

Database Needs for Modeling and Simulation of Plasma Processing

ویرایش:  
 
سری: Compass Series 
ISBN (شابک) : 0309055911, 9780309055918 
ناشر: National Academy 
سال نشر: 1996 
تعداد صفحات: 0 
زبان: English 
فرمت فایل : CHM (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) 
حجم فایل: 396 کیلوبایت 

در صورت تبدیل فایل کتاب Database Needs for Modeling and Simulation of Plasma Processing به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.

توجه داشته باشید کتاب نیازهای پایگاه داده برای مدلسازی و شبیه سازی پردازش پلاسما نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.

توضیحاتی در مورد کتاب نیازهای پایگاه داده برای مدلسازی و شبیه سازی پردازش پلاسما

علیرغم هزینه بالا و اهمیت فنی آن، تجهیزات پلاسما هنوز عمدتاً به صورت تجربی طراحی می‌شوند و کمک چندانی از شبیه‌سازی رایانه‌ای ندارند. کنترل فرآیند پلاسما ابتدایی است. بهینه‌سازی عملکرد راکتور پلاسما، از جمله تنظیمات برای مقابله با کنترل‌های سختگیرانه فزاینده بر انتشار گازهای گلخانه‌ای، عمدتاً با آزمون و خطا انجام می‌شود. اکنون انگیزه اقتصادی قوی و رو به رشدی برای بهبود روش‌های سنتی طراحی، بهینه‌سازی و کنترل راکتور و فرآیند پلاسما وجود دارد. یک استراتژی واضح برای تولید کنندگان تراشه و تامین کنندگان تجهیزات پلاسما، استفاده از مدل سازی و شبیه سازی در مقیاس بزرگ است. مانع اصلی برای توسعه بیشتر این استراتژی امیدوارکننده، فقدان پایگاه داده برای بسیاری از فرآیندهای فیزیکی و شیمیایی است که در پلاسما رخ می دهد. داده‌هایی که در حال حاضر در دسترس هستند اغلب در ادبیات علمی پراکنده هستند و ارزیابی قابلیت اطمینان آنها معمولاً در دسترس نیست. نیازهای پایگاه داده برای مدل‌سازی و شبیه‌سازی پردازش پلاسما، استراتژی‌هایی را برای افزودن داده‌ها به پایگاه داده موجود، بهبود دسترسی به پایگاه داده و ارزیابی قابلیت اطمینان داده‌های موجود شناسایی می‌کند. این گزارش علاوه بر شناسایی مهم‌ترین نیازها، تکنیک‌های تجربی و نظری/محاسباتی را که می‌توان برای ارضای این نیازها مورد استفاده قرار داد یا باید توسعه داد، ارزیابی می‌کند.

توضیحاتی درمورد کتاب به خارجی

In spite of its high cost and technical importance, plasma equipment is still largely designed empirically, with little help from computer simulation. Plasma process control is rudimentary. Optimization of plasma reactor operation, including adjustments to deal with increasingly stringent controls on plant emissions, is performed predominantly by trial and error. There is now a strong and growing economic incentive to improve on the traditional methods of plasma reactor and process design, optimization, and control. An obvious strategy for both chip manufacturers and plasma equipment suppliers is to employ large-scale modeling and simulation. The major roadblock to further development of this promising strategy is the lack of a database for the many physical and chemical processes that occur in the plasma. The data that are currently available are often scattered throughout the scientific literature, and assessments of their reliability are usually unavailable. Database Needs for Modeling and Simulation of Plasma Processing identifies strategies to add data to the existing database, to improve access to the database, and to assess the reliability of the available data. In addition to identifying the most important needs, this report assesses the experimental and theoretical/computational techniques that can be used, or must be developed, in order to begin to satisfy these needs.

فهرست مطالب

Database Needs for Modeling and Simulation of Plasma\rProcessing Compass Series......Page 2
Contents......Page 9
Findings......Page 15
References......Page 17
Introduction......Page 18
Plasma Processing for Semiconductor Manufacturing......Page 19
Plasma Equipment Supplier Perspectives......Page 21
Chip Manufacturer Perspectives......Page 23
Recommended Priorities for Development of an Improved Database......Page 24
Findings......Page 25
2 Tool Scale and Feature Scale Models 13......Page 26
Tool Scale Models......Page 27
Feature Scale Models......Page 29
General Assessment of Modeling State of the Art and Vision of Future Capability and Implied Needs......Page 31
Findings......Page 35
Techniques for Measurements of Gas Phase Species......Page 36
Information Resources......Page 37
Roles of the Database in Motivating Diagnostic Experiments......Page 38
Information Resources......Page 40
New Diagnostic Techniques......Page 41
References......Page 42
Introduction......Page 46
Approach......Page 47
Incident Flux and Desorbing Flux Analysis......Page 48
Condition of the Surface......Page 49
Sticking Coefficients......Page 50
Computer Simulations......Page 51
References......Page 52
Molecules......Page 53
Neutral Dissociation......Page 54
Momentum Transfer, Swarm, and Discharge Measurements......Page 55
Findings......Page 56
Introduction......Page 57
Ion-Ion Neutralization......Page 58
Status of the Database......Page 62
Momentum Transfer......Page 59
Excited State Chemistry and Penning Ionization......Page 64
Summary......Page 66
Thermochemical Data......Page 67
References......Page 68
Appendix A: Acronyms and Abbreviations 59......Page 70
Appendix B: Workshop Agenda 61......Page 71
Appendix C: Workshop Participants 63......Page 73

نظرات کاربران

کتاب های تصادفی

دانلود کتاب Practical Stress Management. A Comprehensive Workbook

دانلود کتاب Communication, Public Opinion, and Globalization in Urban China

دانلود کتاب Giants of innovation

دانلود کتاب Rise and Decline of Civilizations: Lessons for the Jewish People

دانلود کتاب Tarot for Change: Using the Cards for Self-Care, Acceptance, and Growth