CMOS VLSI Engineering: Silicon-on-Insulator (SOI)

فناوری CMOS سیلیکون روی عایق (SOI) علاوه بر فناوری CMOS انبوه، به عنوان یکی دیگر از فناوری‌های اصلی VLSI در نظر گرفته شده است. با توجه به ساختار اکسید مدفون، فناوری SOI دستگاه‌های CMOS برتر را با سرعت بالاتر، چگالی بالا و اثرات مرتبه دوم کاهش‌یافته برای برنامه‌های کاربردی مدارهای VLSI ولتاژ پایین و کم مصرف زیر میکرون عمیق ارائه می‌کند. علاوه بر کاربردهای VLSI و به دلیل خواص برجسته آن، فناوری SOI برای تحقق مدارهای ارتباطی، دستگاه های مایکروویو، دستگاه های BICMOS و حتی کاربردهای فیبر نوری استفاده شده است.
مهندسی CMOS VLSI: Silicon-On-Insulator به سه عامل کلیدی در مهندسی SOI CMOS VLSI می‌پردازد - فناوری پردازش، مدل‌سازی دستگاه و طرح‌های مدار همگی با تعاملات متقابل خود پوشش داده می‌شوند. با شروع از فناوری پردازش SOI CMOS و مدارهای دیجیتال و آنالوگ SOI CMOS، رفتارهای دستگاه‌های SOI CMOS ارائه می‌شوند، به دنبال آن یک برنامه CAD، ST-SPICE، که مدل‌هایی را برای SOI CMOS کاملاً تهی شده از mesa ایزوله شده با عمق زیر میکرون ترکیب می‌کند. دستگاه ها و دستگاه های SOI با هدف ویژه از جمله TFT های پلی سیلیکونی.
مهندسی CMOS VLSI: Silicon-On-Insulator برای دانشجویان ارشد در مقطع کارشناسی و دانشجویان سال اول کارشناسی ارشد علاقه‌مند به CMOS VLSI نوشته شده است. همچنین برای متخصصان مهندسی برق علاقه مند به میکروالکترونیک مناسب خواهد بود.

Silicon-On-Insulator (SOI) CMOS technology has been regarded as another major technology for VLSI in addition to bulk CMOS technology. Owing to the buried oxide structure, SOI technology offers superior CMOS devices with higher speed, high density, and reduced second order effects for deep-submicron low-voltage, low-power VLSI circuits applications. In addition to VLSI applications, and because of its outstanding properties, SOI technology has been used to realize communication circuits, microwave devices, BICMOS devices, and even fiber optics applications.
CMOS VLSI Engineering: Silicon-On-Insulator addresses three key factors in engineering SOI CMOS VLSI - processing technology, device modelling, and circuit designs are all covered with their mutual interactions. Starting from the SOI CMOS processing technology and the SOI CMOS digital and analog circuits, behaviors of the SOI CMOS devices are presented, followed by a CAD program, ST-SPICE, which incorporates models for deep-submicron fully-depleted mesa-isolated SOI CMOS devices and special purpose SOI devices including polysilicon TFTs.
CMOS VLSI Engineering: Silicon-On-Insulator is written for undergraduate senior students and first-year graduate students interested in CMOS VLSI. It will also be suitable for electrical engineering professionals interested in microelectronics.