A Practical Guide to Optical Metrology for Thin Films

ویرایش:  
نویسندگان: Dr. Michael Quinten(auth.)  
سری:  
ISBN (شابک) : 9783527411672, 9783527664344 
ناشر:  
سال نشر: 2012 
تعداد صفحات: 215 
زبان: English 
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) 
حجم فایل: 3 مگابایت 

قیمت کتاب (تومان) : 40,000



راهنمای مختصر و یک مرحله ای در مورد تعیین و اندازه گیری ضخامت لایه نازک با روش های نوری.

این کتاب کاربردی قوانین تابش الکترومغناطیسی و برهمکنش نور با ماده را پوشش می دهد. و همچنین تئوری و عمل اندازه گیری ضخامت و کاربردهای مدرن. با انجام این کار، قابلیت ها و فرصت های تعیین ضخامت نوری را نشان می دهد و نقاط قوت و ضعف دستگاه های اندازه گیری را به همراه روش های ارزیابی آنها مورد بحث قرار می دهد.

پس از مقدمه ای بر موضوع، فصل 2 اصول اولیه دستگاه های اندازه گیری را ارائه می کند. انتشار نور و سایر تشعشعات الکترومغناطیسی در فضا و ماده. موضوع اصلی این کتاب، تعیین ضخامت یک لایه در پشته لایه با اندازه گیری بازتاب یا عبور طیفی، در سه فصل زیر بررسی می شود. رنگ لایه های نازک در فصل 6 مورد بحث قرار گرفته است. در نهایت، در فصل 7، نویسنده چندین کاربرد صنعتی اندازه گیری ضخامت لایه، از جمله پوشش های بازتابی بالا و ضد انعکاس، ساختار فتولیتوگرافی نیمه هادی ها، سیلیکون روی عایق، رسانای شفاف را مورد بحث قرار می دهد. فیلم‌ها، اکسیدها و پلیمرها، فیلم‌های نازک فتوولتائیک، و سیلیکون به شدت دوپ‌شده.

برای محققان صنعتی و دانشگاهی، مهندسان، توسعه‌دهندگان و سازندگان درگیر در همه حوزه‌های لایه نوری و اندازه‌گیری لایه‌های نوری نازک و اندازه‌شناسی، فرآیند طراحی شده است. کنترل، نظارت در زمان واقعی، و برنامه‌ها.

محتوا:
فصل 1 مقدمه (صفحات 1-5):
فصل 2 انتشار نور و سایر امواج الکترومغناطیسی (صفحات 7-57):
فصل 3 بازتاب طیفی و گذردهی پشته لایه (صفحات 59-80):
فصل 4 اندازه گیری نوری (صفحه های 81-119):
فصل 5 تعیین ضخامت لایه نازک (صفحات 121-140):
فصل 6 رنگ لایه های نازک (صفحات 141-147):
کاربردهای فصل 7 (صفحات 149-185):

A one-stop, concise guide on determining and measuring thin film thickness by optical methods.

This practical book covers the laws of electromagnetic radiation and interaction of light with matter, as well as the theory and practice of thickness measurement, and modern applications. In so doing, it shows the capabilities and opportunities of optical thickness determination and discusses the strengths and weaknesses of measurement devices along with their evaluation methods.

Following an introduction to the topic, Chapter 2 presents the basics of the propagation of light and other electromagnetic radiation in space and matter. The main topic of this book, the determination of the thickness of a layer in a layer stack by measuring the spectral reflectance or transmittance, is treated in the following three chapters. The color of thin layers is discussed in chapter 6. Finally, in chapter 7, the author discusses several industrial applications of the layer thickness measurement, including high-reflection and anti-reflection coatings, photolithographic structuring of semiconductors, silicon on insulator, transparent conductive films, oxides and polymers, thin film photovoltaics, and heavily doped silicon.

Aimed at industrial and academic researchers, engineers, developers and manufacturers involved in all areas of optical layer and thin optical film measurement and metrology, process control, real-time monitoring, and applications.

Content:
Chapter 1 Introduction (pages 1–5):
Chapter 2 Propagation of Light and Other Electromagnetic Waves (pages 7–57):
Chapter 3 Spectral Reflectance and Transmittance of a Layer Stack (pages 59–80):
Chapter 4 The Optical Measurement (pages 81–119):
Chapter 5 Thin?Film Thickness Determination (pages 121–140):
Chapter 6 The Color of Thin Films (pages 141–147):
Chapter 7 Applications (pages 149–185):