دسترسی نامحدود
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
دانلود کتاب Tribology Issues and Opportunities in MEMS: Proceedings of the NSF/AFOSR/ASME Workshop on Tribology Issues and Opportunities in MEMS held in Columbus, Ohio, U.S.A., 9–11 November 1997
دانلود کتاب مسائل و فرصت های Tribology در MEMS: مجموعه مقالات NSF / AFOSR / ASME کارگاه آموزشی مسائل Tribology و فرصت ها در MEMS در کلمبوس ، اوهایو ، ایالات متحده آمریکا ، 9-11 نوامبر 1997
مشخصات کتاب
Tribology Issues and Opportunities in MEMS: Proceedings of the NSF/AFOSR/ASME Workshop on Tribology Issues and Opportunities in MEMS held in Columbus, Ohio, U.S.A., 9–11 November 1997
ویرایش: 1 نویسندگان: L. Hermans (auth.), Bharat Bhushan (eds.) سری: ISBN (شابک) : 9789401061216, 9789401150507 ناشر: Springer Netherlands سال نشر: 1998 تعداد صفحات: 650 زبان: English فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) حجم فایل: 46 مگابایت
قیمت کتاب (تومان) : 47,000
کلمات کلیدی مربوط به کتاب مسائل و فرصت های Tribology در MEMS: مجموعه مقالات NSF / AFOSR / ASME کارگاه آموزشی مسائل Tribology و فرصت ها در MEMS در کلمبوس ، اوهایو ، ایالات متحده آمریکا ، 9-11 نوامبر 1997: مکانیک، خصوصیات و ارزیابی مواد، شیمی معدنی، مهندسی برق، ساخت، ماشین آلات، ابزار
در صورت تبدیل فایل کتاب Tribology Issues and Opportunities in MEMS: Proceedings of the NSF/AFOSR/ASME Workshop on Tribology Issues and Opportunities in MEMS held in Columbus, Ohio, U.S.A., 9–11 November 1997 به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.
توجه داشته باشید کتاب مسائل و فرصت های Tribology در MEMS: مجموعه مقالات NSF / AFOSR / ASME کارگاه آموزشی مسائل Tribology و فرصت ها در MEMS در کلمبوس ، اوهایو ، ایالات متحده آمریکا ، 9-11 نوامبر 1997 نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.
توضیحاتی در مورد کتاب مسائل و فرصت های Tribology در MEMS: مجموعه مقالات NSF / AFOSR / ASME کارگاه آموزشی مسائل Tribology و فرصت ها در MEMS در کلمبوس ، اوهایو ، ایالات متحده آمریکا ، 9-11 نوامبر 1997
سیستم های میکرو الکترومکانیکال (MEMS) در حال حاضر حدود یک میلیارد دلار در سال صنعت است و به سرعت در حال رشد است. تا کنون تاکید عمده ای بر فرآیندهای ساخت دستگاه های مختلف شده است. مسائل جدی مربوط به تریبولوژی، مکانیک، شیمی سطح و علم مواد در عملیات و ساخت بسیاری از دستگاه‌های MEMS وجود دارد و این مسائل از تجاری‌سازی سریع‌تر جلوگیری می‌کند. در مورد تریبولوژی و خواص مکانیکی در مقیاس های میکرو تا نانو مواد مورد استفاده در ساخت دستگاه های MEMS اطلاعات بسیار کمی وجود دارد. جامعه MEMS باید در معرض جدیدترین فناوری ریزپشتی قرار گیرد و بالعکس. درک اساسی از اصطکاک / چسبندگی، سایش و نقش آلودگی سطحی و زباله های محیطی در دستگاه های میکرو ضروری است. مسائل مربوط به چسبندگی، اصطکاک و سایش در ساخت و استفاده واقعی وجود دارد که صنعت MEMS با آن مواجه است. در مورد تریبولوژی سیلیکون حجیم و فیلم های پلی سیلیکونی که در ساخت این ریزدستگاه ها استفاده می شود، اطلاعات بسیار کمی وجود دارد. این مسائل بر اساس پدیده های سطحی است و نمی توان آنها را به صورت خطی کوچک کرد و با اندازه کوچک دستگاه ها اهمیت فزاینده ای پیدا می کند. تئوری پیوسته در تحلیل ها شکسته می شود، e. g. در جریان سیال دستگاه های در مقیاس میکرو. خواص مکانیکی پلی سیلیس و سایر فیلم ها به خوبی مشخص نشده است. بهینه سازی زبری می تواند به بهبود تریبولوژیک کمک کند. تک لایه روان کننده ها و سایر مواد باید برای اصطکاک بسیار کم و سایش تقریباً صفر ایجاد شوند. پوشش‌های سخت و تکنیک‌های کاشت یون امیدوارکننده هستند.
توضیحاتی درمورد کتاب به خارجی
Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) is already about a billion dollars a year industry and is growing rapidly. So far major emphasis has been placed on the fabrication processes for various devices. There are serious issues related to tribology, mechanics, surfacechemistry and materials science in the operationand manufacturingof many MEMS devices and these issues are preventing an even faster commercialization. Very little is understood about tribology and mechanical properties on micro- to nanoscales of the materials used in the construction of MEMS devices. The MEMS community needs to be exposed to the state-of-the-artoftribology and vice versa. Fundamental understanding of friction/stiction, wear and the role of surface contamination and environmental debris in micro devices is required. There are significantadhesion, friction and wear issues in manufacturing and actual use, facing the MEMS industry. Very little is understood about the tribology of bulk silicon and polysilicon films used in the construction ofthese microdevices. These issues are based on surface phenomenaand cannotbe scaled down linearly and these become increasingly important with the small size of the devices. Continuum theory breaks down in the analyses, e. g. in fluid flow of micro-scale devices. Mechanical properties ofpolysilicon and other films are not well characterized. Roughness optimization can help in tribological improvements. Monolayers of lubricants and other materials need to be developed for ultra-low friction and near zero wear. Hard coatings and ion implantation techniques hold promise.
فهرست مطالب
Front Matter....Pages i-xiv
MEMS R&D in Europe....Pages 1-16
Integrated MEMS in Conventional CMOS....Pages 17-29
Facilitating Choices of Machining Tools and Materials for ‘Miniaturization Science’: A Review....Pages 31-51
Microfabrication Technologies for High Performance Microactuators....Pages 53-72
Surface Characterization of Non-Lithographic Micromachining....Pages 73-84
Biosensors and Microfluidic Systems....Pages 85-94
Power MEMS Materials and Structures....Pages 95-107
MEMS Opportunities in Accelerometers and Gyros and the Microtribology Problems Limiting Commercialization....Pages 109-120
New Technology and Applications at Lucas NovaSensor....Pages 121-134
Rough Surface Characterization....Pages 135-148
Frictional Instabilities....Pages 149-156
Wear of Ceramics and Metals....Pages 157-164
Mechanics of Wear: From Conventional Components to MEMS....Pages 165-174
Rheological Modeling of Thin Film Lubrication....Pages 175-183
Surface Roughness Induced Effects in Hydrodynamic Lubrication....Pages 185-206
Transition from Elastohydrodynamic to Partial Lubrication....Pages 207-228
Micro/Nanotribology: State of the Art and Its Applications....Pages 229-246
Pulsed Force Mode: A new method for characterizing thin silane films by adhesive force measurements....Pages 247-260
Formation of Nanometer-Scale Contacts to Viscoelastic Materials....Pages 261-271
Nanotribology of Vapor-Phase Lubricants....Pages 273-284
The Tribology of Hydrocarbon Surfaces Investigated using Molecular Dynamics....Pages 285-299
Dual-Axis Piezoresistive AFM Cantilever for Independent Detection of Vertical and Lateral Forces....Pages 301-312
Statistical Thermodynamic Treatment of the AFM Tip in Liquid....Pages 313-323
Tribological Issues of Polysilicon Surface-Micromachining....Pages 325-340
Advantages and Limitations of Silicon as a Bearing Material for MEMS Applications....Pages 341-365
Surface Force Induced Failures in Microelectromechanical Systems....Pages 367-395
Development, Fabrication and Testing of a Multi-Stage Micro Gear System....Pages 397-402
Analysis of Gear Tooth Performance of Mechanically-Coupled, Outer-Rotor Polysilicon Micromotors....Pages 403-406
Micro/Nanotribological Studies of Single-Crystal Silicon and Polysilicon and SiC Films for Use in MEMS Devices....Pages 407-430
Phase Transformations in Semiconductors Under Contact Loading....Pages 431-442
Influence of Water Adsorption on Microtribology of Micromachines....Pages 443-454
Tribological Effects of Surface Roughness in MEMS Devices....Pages 455-462
Active Friction Control Using Ultrasonic Vibration....Pages 463-469
Contact Resistance Measurements and Modeling of an Electrostatically Actuated Microswitch....Pages 471-480
Metrology for MEMS Tribology....Pages 481-486
Mechanical Property Determination Using Nanoindentation Techniques....Pages 487-508
Stress in Thin Films for MEMS Actuators....Pages 509-518
Reliability and Fatigue Testing of MEMS....Pages 519-528
Surface Modification and Mechanical Properties of Bulk Silicon....Pages 529-537
Microfriction and Microwear Experiments on Metal Containing Amorphous Hydrocarbon Hard Coatings Using an Atomic Force Microscope....Pages 539-558
Formation of Carbon Films on Ceramic Carbides by High Temperature Chlorination....Pages 559-565
Deposition and Characterization of Diamond-Like Materials....Pages 567-578
Wear and Nanomechanical Studies of Silicon Oxide and Silicon Nitride Thin Films for MEMS Applications....Pages 579-589
a-SiC Thin Films Deposited Using Pulsed Laser Ablation of Graphite and Magnetron Sputtering of Silicon onto Steel Substrates at Room Temperature....Pages 591-596
Lubrication of Polysilicon Micromechanisms with Alkylsiloxane Self-Assembled Monolayers: Coefficient of Static Friction Measurements....Pages 597-606
Tribological Properties of Modified MEMS Surfaces....Pages 607-614
Breakout Session Report:Tribology Research in MEMS....Pages 615-617
Breakout Session Report: Mechanisms of Nano-Scale Tribology and Instrumentation for MEMS Devices....Pages 619-625
Breakout Session Report: Lubricants, Overcoats and Surface Modification Techniques....Pages 627-628
Breakout Session Report: Mechanical Property Measurements....Pages 629-632
Panel Discussion Report: Tribology Issues and Opportunities in MEMS....Pages 633-640
Back Matter....Pages 641-655
نظرات کاربران
کتاب های تصادفی
دانلود کتاب Stellar alchemy : the celestial origin of matter
دانلود کتاب Priests de la resistance!: the loose canons who fought fascism in the twentieth century
دانلود کتاب The Writer's Room Conversations About Writing
