دسترسی نامحدود
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
برای ارتباط با ما می توانید از طریق شماره موبایل زیر از طریق تماس و پیامک با ما در ارتباط باشید
در صورت عدم پاسخ گویی از طریق پیامک با پشتیبان در ارتباط باشید
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
درصورت عدم همخوانی توضیحات با کتاب
از ساعت 7 صبح تا 10 شب
دسته بندی: ریاضیات کاربردی ویرایش: 1 نویسندگان: Hiroyuki Fujiwara سری: ISBN (شابک) : 0470016086, 9780470016084 ناشر: Wiley سال نشر: 2007 تعداد صفحات: 388 زبان: English فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) حجم فایل: 8 مگابایت
در صورت تبدیل فایل کتاب Spectroscopic Ellipsometry: Principles and Applications به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.
توجه داشته باشید کتاب بیضی سنجی طیف سنجی: اصول و کاربردها نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.
بیضی سنجی ابزار قدرتمندی است که برای شناسایی لایه های نازک و ساختارهای نیمه هادی چند لایه استفاده می شود. این کتاب به اصول اساسی و کاربردهای بیضی سنجی طیف سنجی (SE) می پردازد. در ابتدا با مروری بر فناوریهای SE، متن روی تجزیه و تحلیل دادههای نتایج بهدستآمده از SE تمرکز میکند، تجزیه و تحلیل دادههای بنیادی، اصول و پسزمینههای فیزیکی و مواد مختلف مورد استفاده در زمینههای مختلف از صنعت LSI تا بیوتکنولوژی شرح داده میشوند. فصل پایانی آخرین پیشرفتهای نظارت و کنترل فرآیند را در زمان واقعی توصیف میکند که توجه قابل توجهی را در زمینههای مختلف علمی و صنعتی به خود جلب کرده است.
Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.
Cover......Page 1
Spectroscopic Ellipsometry......Page 4
ISBN-13: 9780470016084......Page 5
Contents......Page 8
Foreword......Page 14
Preface......Page 16
Acknowledgments......Page 18
1 Introduction to Spectroscopic Ellipsometry......Page 20
2 Principles of Optics......Page 32
3 Polarization of Light......Page 68
4 Principles of Spectroscopic Ellipsometry......Page 100
5 Data Analysis......Page 166
6 Ellipsometry of Anisotropic Materials......Page 228
7 Data Analysis Examples......Page 268
8 Real-Time Monitoring by Spectroscopic Ellipsometry......Page 330
Appendices......Page 12
Appendix 1 Trigonometric Functions......Page 364
Appendix 2 Definitions of Optical Constants......Page 366
Appendix 3 Maxwell’s Equations for Conductors......Page 368
Appendix 4 Jones–Mueller Matrix Conversion......Page 372
Appendix 5 Kramers–Kronig Relations......Page 376
Index......Page 380