مشخصات کتاب

Silizium-Halbleitertechnologie

ویرایش: 3., überarb. u. erg. Aufl. 
نویسندگان: Ulrich Hilleringmann (auth.)  
سری: Silizium-Halbleitertechnologie 
ISBN (شابک) : 9783519201496, 9783322941190 
ناشر: Vieweg+Teubner Verlag 
سال نشر: 2002 
تعداد صفحات: 320 
زبان: German 
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) 
حجم فایل: 12 مگابایت 

کلمات کلیدی مربوط به کتاب فناوری نیمه هادی سیلیکونی: الکترونیک و میکروالکترونیک، ابزار دقیق

در صورت تبدیل فایل کتاب Silizium-Halbleitertechnologie به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.

توجه داشته باشید کتاب فناوری نیمه هادی سیلیکونی نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.

توضیحاتی در مورد کتاب فناوری نیمه هادی سیلیکونی

اساس فناوری یکپارچه سازی میکروالکترونیک، فناوری نیمه هادی سیلیکونی
است. این از تعداد زیادی از فرآیندهای تکراری تشکیل شده است که پیاده سازی و تجهیزات آنها باید الزامات شدید را برآورده کند تا به اندازه ساختار مورد نیاز تا چند 100 نانومتر به طور یکنواخت دست یابد و آن را به صورت تکراری تولید کند. تعامل اکسیداسیون، مراحل اچینگ و کاشت برای تولید MOS و مدارهای دوقطبی، و همچنین الزامات مکانیکی توضیح داده شده است - از سیلیکون خام تا مدار مجتمع محصور شده
- از دیدگاه از سازنده مدار تمرینات روی موضوعات فردی برای آزمون درک ادغام شده است. علاوه بر اصول، این کتاب همچنین به اجرای فنی فرآیندهای فردی می پردازد که برای شکل دادن به تکنیک یکپارچه سازی گرد هم آمده اند. این برای دانشجویان رشته‌های الکترونیک، مهندسی برق، میکروفنولوژی، علوم کامپیوتر و فیزیک و همچنین برای هر کسی که می‌خواهد بینشی در مورد فناوری ساخت قطعات میکروالکترونیک به دست آورد.
ویرایش سوم اصلاح‌شده و تکمیل‌شده شامل بخش‌های اضافی
در مورد فوتولیتوگرافی، اچینگ، و پرداخت شیمیایی-مکانیکی
است.

توضیحاتی درمورد کتاب به خارجی

Die Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die
Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von
sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchf?hrung und
apparative Ausstattung extremen Anforderungen gen?gen m?ssen, um die geforderten Strukturgr??en bis zu wenigen 100 nm gleichm??ig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, ?tzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen, sowie die maschinellen
Voraussetzungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten
integrierten Schaltung - aus Sicht der Schaltungshersteller erl?utert. Zur
?berpr?fung des Verst?ndnisses sind ?bungsaufgaben zu den einzelnen Themen
eingegliedert. Das Buch behandelt neben den Grundlagen auch die
technische Durchf?hrung der Einzelprozesse, die zur Integrationstechnik
zusammengef?hrt werden. Es richtet sich an Studierende der Fachrichtungen Elektronik, Elektrotechnik, Mikrotechnologie, Informatik und Physik, sowie an alle,
die einen Einblick in die Herstellungstechnik f?r mikroelektronische
Bauelemente gewinnen wollen.
Die ?berarbeitete und erg?nzte 3. Auflage enth?lt zus?tzliche Abschnitte
zur Fotolithografie, zur ?tztechnik und zum chemisch-mechanischen
Polieren.

فهرست مطالب

Front Matter....Pages I-XIII
Einleitung....Pages 1-3
Herstellung von Siliziumscheiben....Pages 4-22
Oxidation des Siliziums....Pages 23-35
Lithografie....Pages 36-59
Ätztechnik....Pages 60-83
Dotiertechniken....Pages 84-111
Depositionsverfahren....Pages 112-130
Metallisierung und Kontakte....Pages 131-151
Scheibenreinigung....Pages 152-161
MOS-Technologien zur Schaltungsintegration....Pages 162-193
Erweiterungen zur Höchstintegration....Pages 194-236
Bipolar-Technologie....Pages 237-250
Montage integrierter Schaltungen....Pages 251-276
Back Matter....Pages 277-309

نظرات کاربران

کتاب های تصادفی

دانلود کتاب The Pastor in Prayer

دانلود کتاب Ellis-van Creveld Syndrome - A Bibliography and Dictionary for Physicians, Patients, and Genome Researchers

دانلود کتاب The uncook book : the essential guide to a raw food lifestyle

دانلود کتاب ABC of health informatics

دانلود کتاب Zero, uno. Donne digitali e tecnocultura