مشخصات کتاب

Silicon wet bulk micromachining for mems

ویرایش: 1 
نویسندگان: Prem Pal. Kazuo Sato  
سری:  
ISBN (شابک) : 981461372X, 9814613738 
ناشر: Pan Stanford Pub 
سال نشر: 2016 
تعداد صفحات: 425 
زبان: English 
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) 
حجم فایل: 14 مگابایت 

در صورت تبدیل فایل کتاب Silicon wet bulk micromachining for mems به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.

توجه داشته باشید کتاب میکروماشینکاری فله مرطوب سیلیکونی برای مم نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.

توضیحاتی در مورد کتاب میکروماشینکاری فله مرطوب سیلیکونی برای مم



سنسورها و محرک‌های مبتنی بر سیستم‌های میکروالکترومکانیکی (MEMS) در چند دهه گذشته به طور قابل توجهی محبوب شده‌اند. پیشرفت های سریعی در زمینه فناوری و تکنیک های ساخت سازه های MEMS صورت گرفته است. ریزماشینکاری فله سیلیکونی مبتنی بر مواد شیمیایی مرطوب همچنان به عنوان یک تکنیک پرکاربرد برای ساخت ریزساختارهای مورد استفاده در دستگاه های MEMS است. محققان در سراسر جهان کمک قابل توجهی به پیشرفت میکروماشینکاری مبتنی بر مواد شیمیایی مرطوب کرده‌اند، از درک مکانیسم اچینگ گرفته تا بررسی کاربرد آن در ساخت ساختارهای MEMS ساده تا پیچیده. علاوه بر مزایای مختلف، یکی از ویژگی‌های منحصر به فرد ریزماشینکاری فله مبتنی بر مواد شیمیایی مرطوب، توانایی ساخت دیواره‌های جانبی شیبدار، مانند دیواره‌های ۴۵ درجه به عنوان آینه‌های کوچک، و همچنین سازه‌های مستقل مانند کنسول‌ها و دیافراگم‌ها است. این امر ریزماشینکاری حجیم مرطوب را برای ساخت سازه ها برای کاربردهای بی شمار ضروری می کند.

این کتاب درک کاملی از ریزماشینکاری حجیم مرطوب برای ساخت ریزساختارهای ساده تا پیشرفته برای کاربردهای مختلف ارائه می دهد. در MEMS این شامل مقدماتی بر مفاهیم پیشرفته است و تحقیقات در مورد موضوعات اساسی و پیشرفته در مورد ریزماشینکاری فله سیلیکونی مبتنی بر مواد شیمیایی مرطوب را پوشش می دهد. بنابراین، این کتاب به عنوان یک کتاب درسی مقدماتی برای دانشجویان مقطع کارشناسی و کارشناسی ارشد در رشته های فیزیک، شیمی، مهندسی برق و الکترونیک، علم مواد و مهندسی، و همچنین مرجعی جامع برای محققانی است که در زمینه MEMS کار می کنند یا مشتاق کار هستند. و برای مهندسانی که در فناوری ساخت میکروساخت کار می کنند.

توضیحاتی درمورد کتاب به خارجی

Microelectromechanical systems (MEMS)-based sensors and actuators have become remarkably popular in the past few decades. Rapid advances have taken place in terms of both technologies and techniques of fabrication of MEMS structures. Wet chemical–based silicon bulk micromachining continues to be a widely used technique for the fabrication of microstructures used in MEMS devices. Researchers all over the world have contributed significantly to the advancement of wet chemical–based micromachining, from understanding the etching mechanism to exploring its application to the fabrication of simple to complex MEMS structures. In addition to its various benefits, one of the unique features of wet chemical–based bulk micromachining is the ability to fabricate slanted sidewalls, such as 45° walls as micromirrors, as well as freestanding structures, such as cantilevers and diaphragms. This makes wet bulk micromachining necessary for the fabrication of structures for myriad applications.

This book provides a comprehensive understating of wet bulk micromachining for the fabrication of simple to advanced microstructures for various applications in MEMS. It includes introductory to advanced concepts and covers research on basic and advanced topics on wet chemical–based silicon bulk micromachining. The book thus serves as an introductory textbook for undergraduate- and graduate-level students of physics, chemistry, electrical and electronic engineering, materials science, and engineering, as well as a comprehensive reference for researchers working or aspiring to work in the area of MEMS and for engineers working in microfabrication technology.

فهرست مطالب

Content: A Brief Introduction of the Crystal StructureIntroductionCrystal StructureUnit Cell: Primitive and NonprimitiveSymmetry OperationsTypes of LatticesIndex System for Crystal Planes and DirectionsCubic StructuresStereographic ProjectionReferencesBrief Overview of Silicon Wafer Manufacturing and Microfabrication TechniquesWhat Is Silicon?Why Is Silicon Used as a Material for ICs and MEMS?What Are Microelectromechanical Systems?Wafer ManufacturingSilicon Microfabrication ProcessesReferencesIsotropic Etching of Silicon and Related MaterialsIsotropic Etching PropertiesIsotropic Etching SolutionsConditions for Isotropic EtchingApplicationsReferencesKOH-Based Anisotropic EtchingEtching in Pure KOH SolutionsEffect of Alcohols and Surfactant AdditivesReferencesTMAH-Based Anisotropic EtchingIntroductionThe Etching MechanismEtch RatesSurface MorphologyUndercutting and Etched ProfilesWhy Are Etching Characteristics Affected When a Surfactant Is Added to TMAH?Etched Profile ControlSummaryReferencesConvex and Concave Corners in Silicon Wet Bulk MicromachiningIntroductionEtch Rate, Underetching, and UndercuttingRole of Corner Undercutting in MEMS FabricationWhy Does Undercutting Start at Convex Corners?Etched Profiles at Sidewalls and CornersFabrication Techniques of Convex CornersSummaryReferencesAlignment of Mask Patterns to Crystallographic DirectionsIntroductionRole of Precise Alignment in Wet Bulk MicromachiningAlignment TechniquesSummaryReferencesSimple to Complex Structures Using Wet Bulk MicromachiningIntroductionCavities, Channels, and Mesa StructuresMicrostructures with 45° Slanted SidewallsSilicon GratingsSuspended MicrostructuresMicrostructures with Perfectly Sharp Edges and CornersSuspended Microfluidic ChannelsAFM CantileversMicrovalves and Micropumps Microstructures Inside a Silicon WaferDry-Assisted Wet EtchingSilicon Molds for the Fabrication of PDMS StructuresComplex Patterns for Very-High-Aspect-Ratio Microstructures Using PhotoelectrochemicalEtchingReferences

نظرات کاربران

کتاب های تصادفی

دانلود کتاب Class Struggles

دانلود کتاب eMarketing eXcellence: The Heart of eBusiness, Second edition (Emarketing Essentials)

دانلود کتاب Charlotte Hornets

دانلود کتاب Distribution Solutions of Nonlinear Systems of Conservation Laws

دانلود کتاب Oh Beautiful Beer: The Evolution of Craft Beer and Design