Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis: A Text for Biologists, Materials Scientists, and Geologists

در دهه گذشته، از زمان انتشار اولین ویرایش میکروسکوپ الکترونی روبشی و میکروآنالیز اشعه ایکس، قابلیت‌های SEM و EPMA اولیه گسترش زیادی داشته است. تصویربرداری با وضوح بالا با کمک طیف گسترده ای از میکروسکوپ های تفنگ انتشار میدانی (FEG) توسعه یافته است. دامنه بزرگنمایی این ابزارها اکنون با میکروسکوپ الکترونی عبوری همپوشانی دارد. میکروسکوپ ولتاژ پایین با استفاده از FEG اکنون امکان مشاهده نمونه های بدون پوشش را فراهم می کند. علاوه بر این، پیشرفت‌ها در توسعه طیف‌سنج‌های طول موج پرتو ایکس و پراکندگی انرژی امکان اندازه‌گیری پرتوهای کم انرژی، به‌ویژه از عناصر نور (B، C، N، 0) را فراهم می‌کند. در زمینه ریزآنالیز اشعه ایکس، پیشرفت‌های بزرگی به‌ویژه با تکنیک \"phi rho z\" [Ij)(pz)] برای نمونه‌های جامد و سایر روش‌های کمی‌سازی برای لایه‌های نازک، ذرات، سطوح ناهموار حاصل شده است. و عناصر سبک علاوه بر این، تصویربرداری اشعه ایکس از تکنیک مرسوم \"نقشه‌برداری نقطه‌ای\" به روش تصویربرداری ترکیبی کمی پیشرفت کرده است. فراتر از این، نرم افزار جدید امکان توسعه نمایشگرهای بسیار معنادارتری را برای نتایج تحلیل کمی و تصویربرداری و قابلیت ادغام داده ها برای به دست آوردن اطلاعات خاص مانند اندازه رسوب، تجزیه و تحلیل شیمیایی در مناطق تعیین شده یا در امتداد جهت های خاص و مواد شیمیایی محلی را فراهم کرده است. ناهمگنی ها.

In the last decade, since the publication of the first edition of Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis, there has been a great expansion in the capabilities of the basic SEM and EPMA. High­ resolution imaging has been developed with the aid of an extensive range of field emission gun (FEG) microscopes. The magnification ranges of these instruments now overlap those of the transmission electron microscope. Low-voltage microscopy using the FEG now allows for the observation of noncoated samples. In addition, advances in the develop­ ment of x-ray wavelength and energy dispersive spectrometers allow for the measurement of low-energy x-rays, particularly from the light elements (B, C, N, 0). In the area of x-ray microanalysis, great advances have been made, particularly with the "phi rho z" [Ij)(pz)] technique for solid samples, and with other quantitation methods for thin films, particles, rough surfaces, and the light elements. In addition, x-ray imaging has advanced from the conventional technique of "dot mapping" to the method of quantitative compositional imaging. Beyond this, new software has allowed the development of much more meaningful displays for both imaging and quantitative analysis results and the capability for integrating the data to obtain specific information such as precipitate size, chemical analysis in designated areas or along specific directions, and local chemical inhomogeneities.