دسترسی نامحدود
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
دانلود کتاب Principles of Microelectromechanical Systems
دانلود کتاب اصول سیستم های میکروالکترومکانیکی
مشخصات کتاب
Principles of Microelectromechanical Systems
ویرایش: 1
نویسندگان: Ki Bang Lee
سری:
ISBN (شابک) : 0470466340, 9780470466346
ناشر: Wiley-IEEE Press
سال نشر: 2011
تعداد صفحات: 681
زبان: English
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود)
حجم فایل: 4 مگابایت
قیمت کتاب (تومان) : 41,000
در صورت تبدیل فایل کتاب Principles of Microelectromechanical Systems به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.
توجه داشته باشید کتاب اصول سیستم های میکروالکترومکانیکی نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.
توضیحاتی در مورد کتاب اصول سیستم های میکروالکترومکانیکی
بلوک های ساختمان طراحی MEMS از طریق راه حل های شکل بسته سیستم های میکروالکترومکانیکی یا MEMS، فناوری سیستم های بسیار کوچک است. در همه چیز از پرینترهای جوهرافشان و ماشین‌ها گرفته تا تلفن‌های همراه، دوربین‌های دیجیتال و تجهیزات پزشکی یافت می‌شود. این کتاب اصول MEMS را از طریق یک رویکرد یکپارچه و راه حل های بسته برای مسائل میکرومکانیکی، که اخیراً توسط نویسنده توسعه یافته و فراتر از آنچه در متون دیگر موجود است، توصیف می کند. راه حل های فرم بسته به خواننده اجازه می دهد تا به راحتی رفتارهای خطی و غیرخطی MEMS و کاربردهای طراحی آنها را درک کند. با مروری بر MEMS، فصل آغازین همچنین تجزیه و تحلیل ابعادی را ارائه می دهد که پارامترهای بی بعد اساسی موجود در مقیاس بزرگ و کوچک را ارائه می دهد. دنیاها سپس این کتاب میکروساخت را توضیح می‌دهد، که دانشی را در مورد فرآیند ساخت رایج برای طراحی MEMS واقع‌بینانه ارائه می‌کند. از آنجا، پوشش شامل: استاتیک / نیرو و ممان موثر بر سازه های مکانیکی در تعادل استاتیکی رفتارهای استاتیکی سازه های متشکل از عناصر مکانیکی پاسخ های دینامیکی سازه های مکانیکی با حل معادلات حاکم خطی و غیرخطی جریان سیال در MEMS و ارزیابی نیروی میرایی عمل بر روی ساختارهای متحرک معادلات پایه الکترومغناطیسی که رفتار الکتریکی MEMS را کنترل می‌کنند. ترکیب بلوک‌های ساختمانی MEMS برای تشکیل محرک‌ها و حسگرها برای یک هدف خاص، همه فصل‌ها از اول تا آخر از یک رویکرد واحد استفاده می‌کنند که در آن معادلات فصل‌های قبلی در مشتقات بسته استفاده می‌شوند. - راه حل ها را در فصل های بعدی تشکیل دهید. این به خوانندگان کمک می کند تا به راحتی مشکلاتی را که باید حل شوند و راه حل های مشتق شده را درک کنند. علاوه بر این، مدل‌های نظری برای عناصر و سیستم‌ها در فصل‌های بعدی ارائه می‌شود و راه‌حل‌هایی برای پاسخ‌های استاتیکی و دینامیکی به صورت بسته به‌دست می‌آیند. این کتاب برای دانشجویان ارشد یا فارغ‌التحصیل رشته‌های مهندسی برق و مکانیک، محققان MEMS طراحی شده است. ، و مهندسان صنعت. این برای متخصصان فرکانس رادیویی/الکترونیک/سنسوری که برای اهداف طراحی، مایلند شبیه‌سازی‌های مکانیکی غیرخطی عددی را کنار بگذارند، ایده‌آل است. رویکرد راه حل شکل بسته نیز برای طراحان دستگاه علاقه مند به انجام تحلیل پارامتری در مقیاس بزرگ جذاب خواهد بود.
توضیحاتی درمورد کتاب به خارجی
The building blocks of MEMS design through closed-form solutionsMicroelectromechanical Systems, or MEMS, is the technology of very small systems; it is found in everything from inkjet printers and cars to cell phones, digital cameras, and medical equipment. This book describes the principles of MEMS via a unified approach and closed-form solutions to micromechanical problems, which have been recently developed by the author and go beyond what is available in other texts. The closed-form solutions allow the reader to easily understand the linear and nonlinear behaviors of MEMS and their design applications.Beginning with an overview of MEMS, the opening chapter also presents dimensional analysis that provides basic dimensionless parameters existing in large- and small-scale worlds. The book then explains microfabrication, which presents knowledge on the common fabrication process to design realistic MEMS. From there, coverage includes:Statics/force and moment acting on mechanical structures in static equilibriumStatic behaviors of structures consisting of mechanical elementsDynamic responses of the mechanical structures by the solving of linear as well as nonlinear governing equationsFluid flow in MEMS and the evaluation of damping force acting on the moving structuresBasic equations of electromagnetics that govern the electrical behavior of MEMSCombining the MEMS building blocks to form actuators and sensors for a specific purposeAll chapters from first to last use a unified approach in which equations in previous chapters are used in the derivations of closed-form solutions in later chapters. This helps readers to easily understand the problems to be solved and the derived solutions. In addition, theoretical models for the elements and systems in the later chapters are provided, and solutions for the static and dynamic responses are obtained in closed-forms.This book is designed for senior or graduate students in electrical and mechanical engineering, researchers in MEMS, and engineers from industry. It is ideal for radio frequency/electronics/sensor specialists who, for design purposes, would like to forego numerical nonlinear mechanical simulations. The closed-form solution approach will also appeal to device designers interested in performing large-scale parametric analysis.
فهرست مطالب
PRINCIPLES OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS......Page 5
CONTENTS......Page 9
PREFACE......Page 13
1.1 MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS......Page 15
1.2 COUPLED SYSTEMS......Page 16
1.3 KNOWLEDGE REQUIRED......Page 19
1.4 DIMENSIONAL ANALYSIS......Page 21
PROBLEMS......Page 44
2.1 BULK AND SURFACE MICROMACHINING......Page 46
2.2 LITHOGRAPHY......Page 50
2.3 LAYER DEPOSITION......Page 55
2.4 LAYER ETCHING......Page 69
2.5 FABRICATION PROCESS DESIGN......Page 74
PROBLEMS......Page 77
3.1 STATIC EQUILIBRIUM......Page 78
3.2 STRESS–STRAIN RELATIONSHIP......Page 84
3.3 THERMAL STRESS......Page 99
3.4 BEAM BEHAVIOR SUBJECTED TO A TORSIONAL MOMENT......Page 106
3.5 MOMENT–CURVATURE RELATIONSHIP......Page 109
3.6 BEAM EQUATION......Page 117
3.7 GALERKIN’S METHOD......Page 130
3.8 ENERGY METHOD......Page 141
3.9 ENERGY METHOD FOR BEAM PROBLEMS......Page 153
PROBLEMS......Page 156
4.1 ELEMENTS OF MICROSTRUCTURES......Page 158
4.2 STIFFNESS OF COMMONLY USED BEAMS......Page 162
4.3 TRUSSES......Page 185
4.4 STIFFNESS TRANSFORMATION......Page 191
4.5 STATIC BEHAVIOR OF PLANAR STRUCTURES......Page 203
4.6 RESIDUAL STRESS......Page 211
4.7 CUBIC FORCE OF STRUCTURES......Page 224
4.8 POTENTIAL ENERGY......Page 232
4.9 ANALOGY BETWEEN POTENTIAL ENERGIES......Page 239
PROBLEMS......Page 246
5.1 CUBIC EQUATION......Page 249
5.2 DESCRIPTION OF MOTION......Page 256
5.3 GOVERNING EQUATIONS OF DYNAMICS......Page 260
5.4 ENERGY CONVERSION BETWEEN POTENTIAL AND KINETIC ENERGY......Page 265
5.5 FREE VIBRATION OF UNDAMPED SYSTEMS......Page 269
5.6 VIBRATION OF DAMPED SYSTEMS......Page 273
5.7 MULTIDEGREE-OF-FREEDOM SYSTEMS......Page 285
5.8 CONTINUOUS SYSTEMS......Page 293
5.9 EFFECTIVE MASS, DAMPING, AND STIFFNESS......Page 301
5.10 SYSTEMS WITH REPEATED STRUCTURES......Page 316
5.11 DUFFING’S EQUATION......Page 324
PROBLEMS......Page 336
6.1 VISCOUS FLOW......Page 339
6.2 CONTINUITY EQUATION......Page 340
6.3 NAVIER–STOKES EQUATION......Page 342
6.4 REYNOLDS EQUATION......Page 345
6.5 COUETTE FLOW......Page 349
6.6 OSCILLATING PLATE IN A FLUID......Page 350
6.7 CREEPING FLOW......Page 359
6.8 SQUEEZE FILM......Page 366
PROBLEMS......Page 375
7.1 BASIC ELEMENTS OF ELECTRIC CIRCUITS......Page 377
7.2 KIRCHHOFF’S CIRCUIT LAWS......Page 382
7.3 ELECTROSTATICS......Page 390
7.4 FORCE AND MOMENT DUE TO AN ELECTRIC FIELD......Page 399
7.5 ELECTROSTATIC FORCES AND MOMENTS ACTING ON VARIOUS OBJECTS......Page 409
7.6 ELECTROMAGNETIC FORCE......Page 424
7.7 FORCE ACTING ON A MOVING CHARGE IN ELECTRIC AND MAGNETIC FIELDS......Page 432
7.8 PIEZORESISTANCE......Page 436
7.9 PIEZOELECTRICITY......Page 445
PROBLEMS......Page 447
8.1 COMPOSITE BEAMS......Page 450
8.2 PIEZOELECTRIC ACTUATORS......Page 470
8.3 THERMAL ACTUATORS......Page 479
PROBLEMS......Page 512
9.1 ELECTROSTATIC ACTUATORS......Page 514
9.2 COMB DRIVE ACTUATOR......Page 516
9.3 PARALLEL-PLATE ACTUATOR......Page 527
9.4 TORSIONAL ACTUATOR......Page 551
9.5 FIXED–FIXED BEAM ACTUATOR......Page 568
9.6 CANTILEVER BEAM ACTUATOR......Page 580
9.7 DYNAMIC RESPONSE OF GAP-CLOSING ACTUATORS......Page 589
9.8 APPROXIMATION OF GAP-CLOSING ACTUATORS......Page 596
9.9 ELECTROMAGNETIC ACTUATORS......Page 605
PROBLEMS......Page 612
10.1 FORCE AND PRESSURE SENSORS......Page 614
10.2 ACCELEROMETERS......Page 631
10.3 ELECTROSTATIC ACCELEROMETERS......Page 642
10.4 VIBRATORY GYROSCOPES......Page 654
10.5 OTHER ISSUES......Page 663
PROBLEMS......Page 664
APPENDIX......Page 666
REFERENCES......Page 671
INDEX......Page 675
