Precision Nanometrology: Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing

نانومترولوژی دقیق حوزه جدید نانومترولوژی دقیق را توصیف می‌کند که نقش مهمی در تولید نانومقیاس‌ها، عناصر نوری، قطعات دقیق و موارد مشابه دارد. توجه ویژه ای به اندازه گیری اشکال سطحی قطعات کار دقیق و مرحله بندی حرکات ماشین های دقیق دارد.

نیمه اول کتاب به شرح سنسورهای نوری برای اندازه گیری زاویه و جابجایی اختصاص دارد. که کمیت های اساسی برای نانومترولوژی دقیق هستند. نیمه دوم تعدادی از سیستم‌های اندازه‌گیری از نوع اسکن را برای فرم‌های سطحی و حرکات مرحله ارائه می‌کند. سیستم‌های مورد بحث عبارتند از: • الگوریتم‌ها و سیستم‌های جداسازی خطا برای اندازه‌گیری صافی و گردی، • اندازه‌گیری میکرو-اسفریک، • سیستم‌های مبتنی بر میکروسکوپ پروب روبشی، و • سیستم‌های حسگر تصویر اسکن.

<. EM>نانومترولوژی دقیق فناوری های اساسی و عملی نانومترولوژی دقیق را با انتخاب مفیدی از الگوریتم ها، ابزارها و داده های تجربی ارائه می دهد. این برای محققان، مهندسان و دانشجویان تحصیلات تکمیلی درگیر در مهندسی دقیق، فناوری نانو و ساخت مفید خواهد بود.

Springer Series in Advanced Manufacturing بهترین مطالب آموزشی و مرجع را برای حمایت از دانشجویان منتشر می کند. ، مربیان و دست اندرکاران فناوری ساخت و مدیریت. این مجموعه بین‌المللی شامل کتاب‌های درسی پیشرفته، تک نگاری‌های پژوهشی، آثار ویرایش شده و مجموعه مقالات کنفرانس است که تمامی موضوعات در تولید پیشرفته را پوشش می‌دهد. این مجموعه بر موضوعات جدید مورد علاقه، درمان های جدید مناطق سنتی تر و پوشش کاربردهای فناوری اطلاعات و ارتباطات (ICT) در تولید تمرکز دارد.

Precision Nanometrology describes the new field of precision nanometrology, which plays an important part in nanoscale manufacturing of semiconductors, optical elements, precision parts and similar items. It pays particular attention to the measurement of surface forms of precision workpieces and to stage motions of precision machines.

The first half of the book is dedicated to the description of optical sensors for the measurement of angle and displacement, which are fundamental quantities for precision nanometrology. The second half presents a number of scanning-type measuring systems for surface forms and stage motions. The systems discussed include: • error separation algorithms and systems for measurement of straightness and roundness, • the measurement of micro-aspherics, • systems based on scanning probe microscopy, and • scanning image-sensor systems.

Precision Nanometrology presents the fundamental and practical technologies of precision nanometrology with a helpful selection of algorithms, instruments and experimental data. It will be beneficial for researchers, engineers and postgraduate students involved in precision engineering, nanotechnology and manufacturing.

The Springer Series in Advanced Manufacturing publishes the best teaching and reference material to support students, educators and practitioners in manufacturing technology and management. This international series includes advanced textbooks, research monographs, edited works and conference proceedings covering all subjects in advanced manufacturing. The series focuses on new topics of interest, new treatments of more traditional areas and coverage of the applications of information and communication technology (ICT) in manufacturing.