Plasma electronics: applications in microelectronic device fabrication

دسته بندی: الکترونیک
ویرایش: 1 
نویسندگان: T. Makabe,  Z. Petrovic  
سری: Series in Plasma Physics 
ISBN (شابک) : 0750309768, 9781420012279 
ناشر: Taylor & Francis 
سال نشر: 2006 
تعداد صفحات: 336 
زبان: English 
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) 
حجم فایل: 4 مگابایت 

قیمت کتاب (تومان) : 34,000

بدون تکنیک های پردازش پلاسما، پیشرفت های اخیر در ساخت میکروالکترونیک ممکن نبود. اما فراتر از فعال کردن قابلیت‌های جدید، تکنیک‌های مبتنی بر پلاسما پتانسیل افزایش و بهبود بسیاری از فرآیندها و برنامه‌ها را دارند. آنها در طیف وسیعی از اندازه و مقیاس های زمانی قابل اجرا هستند و می توانند برای رسوب گذاری، اچینگ و حتی نظارت و تشخیص فرآیند استفاده شوند. الکترونیک پلاسما: کاربردها در ساخت دستگاه های میکروالکترونیک، فیزیک اساسی و روش های عددی لازم برای آوردن این فناوری ها از آزمایشگاه به کارخانه را توضیح می دهد.

با مروری بر ویژگی‌های اساسی و کاربردهای پلاسمای دمای پایین، کارشناسان برجسته ماکابه و پتروویچ فیزیک زیربنای رفتار پیچیده پلاسمای غیر تعادلی (یا دمای پایین) را بررسی می‌کنند. آنها انتقال ذرات باردار را به طور کلی و جزئی و همچنین ویژگی‌های پلاسمای ماکروسکوپی و فرآیندهای اولیه در فاز گاز و روی سطوح را مورد بحث قرار می‌دهند. پس از ایجاد این زمینه، این کتاب به بررسی روش‌های محاسباتی پیشرفته برای مدل‌سازی پلاسما می‌پردازد و کاربردهای مهم مختلف از جمله پلاسمای جفت‌شده به صورت القایی و خازنی، پلاسمای تقویت‌شده مغناطیسی و تکنیک‌های مختلف پردازش را مرور می‌کند، در حالی که مشکلات متعدد و مثال‌های کار شده این مفاهیم را تقویت می‌کنند. .

ترکیب منحصربه‌فرد فیزیک، روش‌های عددی و کاربردهای عملی، Electronic Plasma: برنامه‌های کاربردی در ساخت دستگاه‌های میکروالکترونیک، شما را با دانش لازم برای افزایش پیشرفت‌های آزمایشگاهی به نوآوری‌های صنعتی مجهز می‌کند.

Without plasma processing techniques, recent advances in microelectronics fabrication would not have been possible. But beyond simply enabling new capabilities, plasma-based techniques hold the potential to enhance and improve many processes and applications. They are viable over a wide range of size and time scales, and can be used for deposition, etching, and even process monitoring and diagnosis. Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication explains the fundamental physics and numerical methods necessary to bring these technologies from the laboratory to the factory.

Beginning with an overview of the basic characteristics and applications of low-temperature plasma, preeminent experts Makabe and Petrovic explore the physics underlying the complex behavior of non-equilibrium (or low temperature) plasma. They discuss charged particle transport in general and in detail as well as macroscopic plasma characteristics and elementary processes in gas phase and on surfaces. After laying this groundwork, the book examines state-of-the-art computational methods for modeling plasma and reviews various important applications including inductively and capacitively coupled plasma, magnetically enhanced plasma, and various processing techniques, while numerous problems and worked examples reinforce the concepts.

Uniquely combining physics, numerical methods, and practical applications, Plasma Electronics: Applications in Microelectronic Device Fabrication equips you with the knowledge necessary to scale up lab bench breakthroughs into industrial innovations.