Piezoelectric MEMS Resonators

ویرایش: 1 
نویسندگان: Harmeet Bhugra. Gianluca Piazza (eds.)  
سری: Microsystems and Nanosystems 
ISBN (شابک) : 9783319286860, 9783319286884 
ناشر: Springer International Publishing 
سال نشر: 2017 
تعداد صفحات: 423 
زبان: English 
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) 
حجم فایل: 14 مگابایت 

قیمت کتاب (تومان) : 40,000



این کتاب تشدیدگرهای میکروالکترومکانیکی پیزوالکتریک (pMEMS) را با مرور تکنیک‌های طراحی از جمله استفاده از مدل‌سازی المان محدود، آزمایش و صلاحیت تشدیدگرها، و تکنیک‌های ساخت و تولید در مقیاس بزرگ برای کمک به الهام بخشیدن به تحقیقات آینده و فعالیت‌های کارآفرینانه در pMEMS به مخاطبان گسترده معرفی می‌کند. . نویسندگان در مورد هیجان‌انگیزترین پیشرفت‌ها در زمینه مواد و دستگاه‌ها برای ساخت تشدیدگرهای MEMS پیزوالکتریک بحث می‌کنند و نمونه‌های مستقیمی از چالش‌های فنی ارائه می‌دهند که برای تجاری‌سازی این نوع دستگاه‌ها باید بر آنها غلبه کرد. برخی از موضوعات تحت پوشش عبارتند از:

• مواد پیزوالکتریک پرمصرف، و همچنین موادی که در آنها علاقه‌های نوظهور وجود دارد
• اصول عملکرد و رویکردهای طراحی برای ساخت مواد خمشی، کانتور تشدید کننده های پیزوالکتریک حالت، حالت ضخامت، و حالت برشی و نمونه هایی از اجرای عملی این دستگاه ها
• رویکردهای تولید در مقیاس بزرگ، با تمرکز بر جنبه های عملی مرتبط با آزمایش و صلاحیت
• < li>نمونه‌هایی از مسیرهای تجاری‌سازی برای تشدید کننده‌های MEMS پیزوالکتریک در بازارهای زمان‌بندی و فیلتر
• ...و موارد دیگر!

نویسندگان دیدگاه‌های صنعتی و دانشگاهی را ارائه می‌کنند و این کتاب را ایده‌آل می‌سازند. برای مهندسان، دانشجویان تحصیلات تکمیلی و محققان.

This book introduces piezoelectric microelectromechanical (pMEMS) resonators to a broad audience by reviewing design techniques including use of finite element modeling, testing and qualification of resonators, and fabrication and large scale manufacturing techniques to help inspire future research and entrepreneurial activities in pMEMS. The authors discuss the most exciting developments in the area of materials and devices for the making of piezoelectric MEMS resonators, and offer direct examples of the technical challenges that need to be overcome in order to commercialize these types of devices. Some of the topics covered include:

• Widely-used piezoelectric materials, as well as materials in which there is emerging interest
• Principle of operation and design approaches for the making of flexural, contour-mode, thickness-mode, and shear-mode piezoelectric resonators, and examples of practical implementation of these devices
• Large scale manufacturing approaches, with a focus on the practical aspects associated with testing and qualification
• Examples of commercialization paths for piezoelectric MEMS resonators in the timing and the filter markets
• ...and more!

The authors present industry and academic perspectives, making this book ideal for engineers, graduate students, and researchers.

Front Matter....Pages i-xii
Front Matter....Pages 1-1
AlN Thin Film Processing and Basic Properties....Pages 3-37
Lead Zirconate Titanate (PZT) for M/NEMS....Pages 39-71
Gallium Nitride for M/NEMS....Pages 73-98
Lithium Niobate for M/NEMS Resonators....Pages 99-129
Front Matter....Pages 131-131
Quality Factor and Coupling in Piezoelectric MEMS Resonators....Pages 133-152
Flexural Piezoelectric Resonators....Pages 153-173
Laterally Vibrating Piezoelectric MEMS Resonators....Pages 175-202
BAW Piezoelectric Resonators....Pages 203-220
Shear Piezoelectric MEMS Resonators....Pages 221-242
Temperature Compensation of Piezo-MEMS Resonators....Pages 243-256
Computational Modeling Challenges....Pages 257-279
Front Matter....Pages 281-281
Fabrication Process Flows for Implementation of Piezoelectric MEMS Resonators....Pages 283-298
Reliability and Quality Assessment (Stability and Packages)....Pages 299-310
Large Volume Testing and Calibration....Pages 311-331
Front Matter....Pages 333-333
High Frequency Oscillators for Mobile Devices....Pages 335-385
BAW Filters and Duplexers for Mobile Communication....Pages 387-413
Back Matter....Pages 415-424