دسترسی نامحدود
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
برای ارتباط با ما می توانید از طریق شماره موبایل زیر از طریق تماس و پیامک با ما در ارتباط باشید
در صورت عدم پاسخ گویی از طریق پیامک با پشتیبان در ارتباط باشید
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
درصورت عدم همخوانی توضیحات با کتاب
از ساعت 7 صبح تا 10 شب
ویرایش: 2
نویسندگان: Burn J. Lin
سری:
ISBN (شابک) : 1510639950, 9781510639959
ناشر: SPIE--The International Society for Optical Engineering
سال نشر: 2021
تعداد صفحات: 576
زبان: English
فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود)
حجم فایل: 42 مگابایت
در صورت تبدیل فایل کتاب Optical Lithography: Here is Why, Second Edition به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.
توجه داشته باشید کتاب لیتوگرافی نوری: در اینجا چرا، ویرایش دوم نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.
این کتاب برای مهندسان، مدیران فناوری و تکنسین های ارشد جدید و با تجربه نوشته شده است که می خواهند درک خود را از فیزیک تشکیل تصویر یک سیستم لیتوگرافی غنی کنند. خوانندگان از معادلات و ثابتهای اساسی که لیتوگرافی نوری را هدایت میکنند، اطلاعاتی کسب میکنند، اصول اولیه سیستمهای نوردهی و شکلگیری تصویر را میآموزند و با درک کامل اجزای سیستم، پردازش و بهینهسازی میآیند. خوانندگان همچنین یک دید کلی از چشم انداز لیتوگرافی نوری و ابزارهای تقویت تولید نیمه هادی دریافت خواهند کرد. این ویرایش دوم تجربه منحصر به فرد نویسنده را در تحقیق، تدریس و تولید با حجم بالا در سطح جهانی ترکیب میکند تا مواد کاملاً جدید در چاپ مجاورتی، و همچنین مطالب به روز شده و گسترش یافته در مورد سیستمهای نوردهی، شکلگیری تصویر، روش E-D، اجزای سختافزاری، پردازش و بهینه سازی، و EUV و لیتوگرافی غوطه وری.
This book is written for new and experienced engineers, technology managers, and senior technicians who want to enrich their understanding of the image formation physics of a lithographic system. Readers will gain knowledge of the basic equations and constants that drive optical lithography, learn the basics of exposure systems and image formation, and come away with a full understanding of system components, processing, and optimization. Readers will also get an overview of the outlook of optical lithography and means to enhance semiconductor manufacturing. This second edition blends the author’s unique experience in research, teaching, and world-class high-volume manufacturing to add brand new material on proximity printing, as well as updated and expanded material on exposure systems, image formation, E-D methodology, hardware components, processing and optimization, and EUV and immersion lithographies.
cover Contents Preface to the Second Edition Chapter 1 Introduction Chapter 2 Proximity Printing Chapter 3 Exposure Systems Chapter 4 Image Formation Chapter 5 The Metrics of Lithography Chapter 6 Hardware Components in Optical Lithography Chapter 7 Processing and Optimization Chapter 8 Immersion Lithography Chapter 9 EUV Lithography Appendix A Methods to Evaluate the Region of Validity Based on Lithography Applications Index