Nanoimprint Lithography: An Enabling Process for Nanofabrication

لیتوگرافی Nanoimprint: یک فرآیند توانمند برای ساخت نانو، توصیف جامعی از فناوری نانو ارائه می‌کند که یکی از امیدوارکننده‌ترین فناوری‌های کم‌هزینه و پرتوان برای تولید نانوساختارها و یک لیتوگرافی نوظهور برای گره‌های 22، 16 و 11 نانومتر است. این زمینه هیجان انگیز و چند رشته ای را ارائه می دهد و طیف گسترده ای از موضوعات را ارائه می دهد: اصول، فرآیند، مواد و کاربرد.
این کتاب برای محققان و دانشجویان تحصیلات تکمیلی در زمینه علوم نانو، فناوری نانو و ساخت نانو، مواد، فیزیکی، شیمی، مهندسی برق و زیست شناسی مورد توجه خاص قرار خواهد گرفت.
دکتر ویمین ژو دانشیار مرکز ارتقاء فناوری نانو شانگهای، چین است.

Nanoimprint Lithography: An enabling process for nanofabrication presents a comprehensive description of nanotechnology that is one of the most promising low-cost, high-throughput technologies for manufacturing nanostructures, and an emerging lithography candidates for 22, 16 and 11 nm nodes. It provides the exciting, multidisciplinary field, offering a wide range of topics covering: principles, process, material and application.
This book would be of specific interest for researchers and graduate students in the field of nanoscience, nanotechnology and nanofabrication, material, physical, chemical, electric engineering and biology.
Dr. Weimin Zhou is an associate professor at Shanghai Nanotechnology Promotion Center, China.