Nanofabrication: Techniques and Principles

در نظر دارد دانشمندان و مهندسان را در مورد وضعیت فعلی هنر در انواع تکنیک های کلیدی که به طور گسترده در ساخت سازه ها در مقیاس نانو استفاده می شود، به روز کند. کار حاضر فن‌آوری‌های ضروری برای ایجاد ویژگی‌های زیر 25 نانومتری به صورت لیتوگرافی، رسوب‌گذاری لایه‌ها با کنترل نانومتری، و اچ کردن الگوها و ساختارها در مقیاس نانو را پوشش می‌دهد. یکی از ویژگی‌های متمایز این کتاب تمرکز نه بر توسعه ساخت میکروالکترونیک، بلکه بر تکنیک‌های قابل استفاده برای ساختن NEMS، حسگرهای زیستی، نانومواد، بلورهای فوتونی، و سایر دستگاه‌ها و ساختارهای جدید است که جامعه را در سال‌های آینده متحول خواهند کرد.

Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with nanometer control, and etching patterns and structures at the nanoscale. A distinguishing feature of this book is a focus not on extension of microelectronics fabrication, but rather on techniques applicable for building NEMS, biosensors, nanomaterials, photonic crystals, and other novel devices and structures that will revolutionize society in the coming years.