Nanofabrication: Principles, Capabilities and Limits

نانوساخت: اصول، قابلیت‌ها و محدودیت‌ها در سطح مقدماتی شرحی یک مرحله‌ای را در مورد اکثر فناوری‌هایی که توسعه داده‌اند و قادر به ساخت ساختارهای زیر 100 نانومتر هستند، ارائه می‌کند.

اصول هر فناوری. با حداقل ریاضیات درگیر معرفی و نشان داده شده اند. قابلیت های هر فناوری در ساخت سازه های زیر 100 نانومتری شرح داده شده است. محدودیت‌های جلوگیری از کاهش بیشتر یک فناوری در مقیاس ابعادی مورد تجزیه و تحلیل قرار می‌گیرد.

با تکیه بر سال‌ها تجربه عملی و با استفاده از مثال‌های متعدد، ژنگ کوی فناوری‌های پیشرفته در ساخت نانو را پوشش می‌دهد، از جمله: P>

• لیتوگرافی مبتنی بر فوتون
• لیتوگرافی پرتوهای ذرات باردار
• نانوساخت با استفاده از کاوشگرهای روبشی
• تکثیر در مقیاس نانو
• انتقال الگوی نانومقیاس
• نانوسازی غیرمستقیم
• نانوساخت توسط خود مونتاژ

نانوساخت: اصول، قابلیت‌ها و محدودیت‌ها به عنوان راهنمای عملی و ابتدا عمل خواهد کرد. -مرجع دستی برای محققان و دست اندرکارانی که در ساخت نانوساختار کار می کنند و همچنین یک \"جعبه ابزار\" از تکنیک های مختلف را ارائه می دهد که می تواند به راحتی در زمینه های مختلف کاربرد اقتباس شود.

نوشته شده برای: محققان علوم نانو و فناوری نانو و مهندسان، متخصصان فنی و محققان دانشگاهی در زمینه‌های الکترونیک، مهندسی مکانیک، و مهندسی شیمی.

Nanofabrication: Principles, Capabilities and Limits presents a one-stop description at the introductory level on most technologies that have been developed which are capable of making structures below 100nm.

Principles of each technology are introduced and illustrated with minimum mathematics involved. The capabilities of each technology in making sub-100nm structures are described. The limits of preventing a technology from further going down the dimensional scale are analyzed.

Drawing upon years of practical experience and using numerous examples, Zheng Cui covers state-of-the art technologies in nanofabrication including:

• Photon-based lithography
• Charged particle beams lithography
• Nanofabrication using scanning probes
• Nanoscale replication
• Nanoscale pattern transfer
• Indirect nanofabrication
• Nanofabrication by self-assembly

Nanofabrication: Principles, Capabilities and Limits will serve as a practical guide and first-hand reference for researchers and practitioners working in nanostructure fabrication and also provides a "tool box" of various techniques that can be easily adapted in different fields of applications.

Written for: Nanoscience and nanotechnology researchers and engineers, technical professionals and academic researchers in the fields of electrtonics, mechanical engineering, and chemical engineering.