Nanofabrication: Principles and Applications

این کتاب مروری بر تکنیک‌ها و ابزارهای ساخت نانوساختار از لیتوگرافی پیشرفته تا رویکردهای خودآرایی نوظهور ارائه می‌دهد. روش‌های بالا به پایین و پایین به بالا همراه با رویکردهای ترکیبی برای نشان دادن ساخت ساختارهایی از جمله مدارهای مجتمع، نقاط کوانتومی نیمه‌رسانا، نانوذرات فلزی، نانولوله‌های کربنی، ساختارهای مولکولی، نانوکامپوزیت‌ها، آرایه‌ها و ابرساختارها استفاده می‌شوند. کاربردهای ساخت نانو در نانوالکترونیک، بیوتکنولوژی، دستگاه های نانومکانیکی و نانوفوتونیک مورد بررسی قرار خواهد گرفت. این مختصر مفاهیم اصلی نانوساخت مربوط به محققان و صنعت در این منطقه مهم و به سرعت در حال تحول را ارائه می دهد.

This book provides an overview of the techniques and tools of nanostructure fabrication from state-of-the-art lithography to emerging self-assembly approaches. Top-down and bottom-up methodologies along with hybrid approaches are used to illustrate the fabrication of structures including integrated circuits, semiconductor quantum dots, metallic nanoparticles, carbon nanotubes, molecular structures, nanocomposites, arrays and superstructures. Nanofabrication applications in nanoelectronics, biotechnology, nanomechanical devices and nanophotonics will be examined. This brief will present the core concepts of nanofabrication relevant to researchers and industry in this important and rapidly evolving area.