Molecular Beam Epitaxy

این کتاب راهنما با چند مشارکت کننده، اپیتاکسی پرتو مولکولی (MBE)، یک تکنیک رسوب دهی همپایه را مورد بحث قرار می دهد که شامل قرار دادن لایه هایی از مواد با ضخامت اتمی بر روی بسترها است. این تحقیق و کاربرد MBE در رشد اپیتاکسیال را با بحث دقیق و نحوه پردازش پرتوهای مولکولی یا اتمی که روی سطح یک بستر کریستالی گرم شده در خلاء رخ می‌دهند، خلاصه می‌کند.

MBE در طول سی سال گذشته (از نظر نویسندگان، مقالات و کنفرانس‌های منحصربه‌فرد) از یک حوزه تحقیقاتی خالص به برنامه‌های تجاری (ساختارهای دستگاه نمونه اولیه و موارد دیگر در مرحله تحقیقات پیشرفته) اهمیت یافته است. MBE مهم است زیرا پدیده های جدید دستگاه را قادر می سازد و تولید ساختارهای چند لایه را با کنترل ابعادی و ترکیبی بسیار خوب تسهیل می کند. این تکنیک‌ها را می‌توان در هر جایی که دستگاه‌های لایه نازک دقیق با ویژگی‌های پیشرفته و منحصربه‌فرد برای محاسبات، اپتیک یا فوتونیک مورد نیاز است، به کار برد. این کتاب پیشرفت های انجام شده توسط MBE را در زمینه تحقیق و تولید انبوه دستگاه های الکترونیکی و نوری پوشش می دهد. این شامل مواد نیمه هادی جدید، ساختارهای دستگاه جدید است که به صورت تجاری در دسترس هستند، و بسیاری موارد دیگر که در مرحله تحقیقات پیشرفته هستند.

• علم بنیادی MBE را به یک مرجع مدرن متراکم می‌کند، مرور ادبیات را تسریع می‌کند
• مواد جدید، برنامه‌های کاربردی جدید و ساختار دستگاه‌های جدید را مورد بحث قرار می‌دهد، برنامه‌های تجاری کنونی را با درک مدرن پایه‌گذاری می‌کند. صنعت و تحقیقات
• پوشش MBE به عنوان فناوری همپایه تولید انبوه، کارایی و توان پردازش را برای صنعت نیمه هادی و جامعه تحقیقاتی مواد نیمه هادی نانوساختار افزایش می دهد

This multi-contributor handbook discusses Molecular Beam Epitaxy (MBE), an epitaxial deposition technique which involves laying down layers of materials with atomic thicknesses on to substrates. It summarizes MBE research and application in epitaxial growth with close discussion and a 'how to' on processing molecular or atomic beams that occur on a surface of a heated crystalline substrate in a vacuum.

MBE has expanded in importance over the past thirty years (in terms of unique authors, papers and conferences) from a pure research domain into commercial applications (prototype device structures and more at the advanced research stage). MBE is important because it enables new device phenomena and facilitates the production of multiple layered structures with extremely fine dimensional and compositional control. The techniques can be deployed wherever precise thin-film devices with enhanced and unique properties for computing, optics or photonics are required. This book covers the advances made by MBE both in research and mass production of electronic and optoelectronic devices. It includes new semiconductor materials, new device structures which are commercially available, and many more which are at the advanced research stage.

• Condenses fundamental science of MBE into a modern reference, speeding up literature review
• Discusses new materials, novel applications and new device structures, grounding current commercial applications with modern understanding in industry and research
• Coverage of MBE as mass production epitaxial technology enhances processing efficiency and throughput for semiconductor industry and nanostructured semiconductor materials research community