Modelling of Microfabrication Systems

این کتاب به مدل‌سازی سیستم‌هایی می‌پردازد که برای ساخت ریزساختارهای سه‌بعدی مهم هستند. موضوعات انتخاب شده عبارتند از: ریزماشینکاری پرتو یونی، لیتوگرافی اشعه ایکس، رسوب بخار شیمیایی لیزری، فوتوپلیمریزاسیون، فرسایش لیزری، و لایه های نازک. مدل‌های شبیه‌سازی رفتار این سیستم‌ها ارائه شده، به صورت گرافیکی نشان داده شده‌اند و در پرتو نتایج تجربی مورد بحث قرار می‌گیرند. دانش به دست آمده از چنین مدل هایی برای عملیات و بهینه سازی سیستم ضروری است. این کتاب از این جهت منحصر به فرد است که بر روی میکروتکنولوژی نسبت ابعاد بالا تمرکز دارد. برای دانشمندان، مهندسان، دانشجویان فارغ التحصیل و تولیدکنندگانی که در حال تحقیق و توسعه هستند برای افزایش دقت و دقت سیستم های میکروساخت برای کاربردهای تجاری بسیار ارزشمند خواهد بود.

This book addresses modeling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. Selected topics are ion beam micromachining, x-ray lithography, laser chemical vapor deposition, photopolymerization, laser ablation, and thin films. Models simulating the behavior of these systems are presented, graphically illusratted, and discussed in the light of experimental results. Knowledge gained from such models is essential for system operation and optimization. This book is unique in that it focuses on high aspect ratio microtechnology. It will be invaluable to scientists, engineers, graduate students, and manufacturers engaged in research and development for enhancing the accuracy and precision of microfabrication systems for commercial applications.