Modellierung von qualitäts- und effektivitätsbestimmenden Mechanismen beim Laserabtragen

از مطلب مقدمه: وضعیت اولیه - توصیف پدیدارشناسی لیزر فرسایش - کیفیت و اثربخشی لیزر فرسایش - اهداف کار - ساختار کار مدلسازی ابلیشن ساختاری: مدل ابلیشن سه بعدی - حدود اعتبار مدل مکانیسم های تعیین کننده کیفیت در هنگام ساختاربندی: تأثیر بازتاب های متعدد هنگام فرسایش با لیزر اگزایمر بدون تغذیه قطعه کار - ساختاردهی با فرسایش با خوراک و هندسه ماسک متغیر - خلاصه شبیه سازی انبساط بخار مواد: توصیف پدیدارشناختی انبساط - فرمول بندی فیزیکی انبساط ماده تبخیر شده - راه حل با روش تفاضل محدود - نتایج محاسبات شبیه سازی - خلاصه مکانیسم های برهمکنش در بخار مواد: برمسترالونگ معکوس - Mie - پراکندگی - تاثیر مکانیسم های برهمکنش بر انبساط بخار مواد - خلاصه عوامل تعیین کننده اثربخشی توسط یک رویکرد جامع: تأثیر پارامترهای لیزر بر اثربخشی - تأثیر گاز محیط بر اثربخشی - خلاصه خلاصه و چشم انداز پیوست ادبیات: خواص مواد / تفکیک و یونیزاسیون / گسسته سازی معادلات اویلر / محاسبه صریح ضریب شکست پیچیده / شعاع بحرانی، حداقل انرژی، چگالی خوشه.

Aus dem Inhalt Einführung: Ausgangslage - Phänomenologische Beschreibung des Laserabtragens - Qualität und Effektivität des Laserabtragens - Zielsetzung der Arbeit - Gliederung der Arbeit Modellierung des strukturierenden Abtrags: Dreidimensionales Abtragsmodell - Gültigkeitsgrenzen des Modells Qualitätsbestimmende Mechanismen beim Strukturieren: Einfluß der Vielfachreflexion beim Abtragen mit Excimerlaser ohne Werkstückvorschub -Strukturierung durch Abtrag mit Vorschub und variabler Maskengeometrie - Synopsis Simulation der Materialdampfexpansion: Phänomenologische Beschreibung der Expansion - Physikalische Formulierung der Expansion des verdampften Materials - Lösung mit dem Finite-Differenzen-Verfahren - Ergebnisse der Simulationsrechnungen - Synopsis Wechselwirkungsmechanismen im Materialdampf: Inverse Bremsstrahlung - Mie - Streuung - Auswirkung der Wechselwirkungsmechanismen auf die Materialdampfexpansion - Synopsis Effektivitätsbestimmende Faktoren ermittelt durch ganzheitliche Betrachtungsweise: Einfluß der Laserparameter auf die Effektivität - Einfluß des Umgebungsgases auf die Effektivität - Synopsis Zusammenfassung und Ausblick Literatur Anhang: Werkstoffeigenschaften / Dissoziation und Ionisation / Diskretisierung der Eulergleichungen / Explizite Berechnung des komplexen Brechungsindexes / Kritischer Radius, minimale Energie, Clusterdichte.