Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen

این کتاب درسی و کتاب مرجع مراحل اولیه فرآیند میکروتکنولوژی برای الکترونیک، مکانیک و اپتیک را توضیح می‌دهد. بر اساس این، فرآیندهای فردی به فناوری میکروسیستم ها مرتبط می شوند. رابط های ممکن مکانیک/الکترونیک، اپتیک/الکترونیک و اپتیک/مکانیک با استفاده از اجزای میکروسیستم خاص ارائه شده است. مزایای مربوطه میکرومکانیک سطح و میکرومکانیک توده بر اساس فناوری فرآیند مورد نیاز برای ادغام سنسورها و محرک‌های میکروسیستم و سازگاری آنها با میکروالکترونیک مورد بررسی قرار می‌گیرد.

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.