Mikrosystementwurf: Entwurf und Simulation von Mikrosystemen

این کتاب جنبه‌های ضروری برای طراحی موفقیت‌آمیز میکروسیستم‌ها را ترکیب می‌کند و ارائه منسجمی از مبانی، روش‌های طراحی، فرآیندهای شبیه‌سازی، کاربردها و فناوری‌ها را ارائه می‌دهد. در این کار، طراحی در پیش‌زمینه است، به‌ویژه پیامدهای کوچک‌سازی در طراحی میکروسیستم‌ها، زیرا هنگامی که مقیاس تغییر می‌کند، خواص فیزیکی یکسان باقی نمی‌ماند. روابط و تشابهات عناصر عملکردی الکتریکی، مکانیکی، حرارتی، سیال و نوری مورد توجه ویژه قرار گرفته است، زیرا این پیچیدگی می تواند به راحتی غیرقابل کنترل شود.

Dieses Buch vereint die wesentlichen Aspekte zum erfolgreichen Entwurf von Mikrosystemen und gibt eine geschlossene Darstellung der Grundlagen, Entwurfsmethoden, Simulationsverfahren, Anwendungen und Technologien. Bei diesem Werk steht der Entwurf im Vordergrund, insbesondere die sich aus der Miniaturisierung ergebenden Konsequenzen im Entwurf von Mikrosystemen, da die physikalischen Eigenschaften bei einer Maßstabänderung nicht gleich bleiben. Besondere Beachtung finden die Zusammenhänge und Analogien der elektrischen, mechanischen, thermischen, fluidischen und optischen Funktionselemente, da diese Komplexität leicht unüberschaubar wird.