Microsystems Mechanical Design

امروزه، میکرومکانیک (به عنوان مثال، مکانیک میکروسیستم‌ها) احتمالاً یکی از زمینه‌های امیدوارکننده و به سرعت در حال رشد در میان فناوری‌های نوظهور جدید است. در واقع، امکان کاهش اندازه ساختارهای مکانیکی به ریز دامنه، طیف گسترده ای از کاربردهای ممکن را در زمینه های زیست پزشکی، هوانوردی، و خودروسازی، در رباتیک، در مهندسی مولکولی، در فیبر نوری و فناوری infiuidics باز می کند. یکی از اصلی‌ترین جنبه‌هایی که توسعه محصولات صنعتی نوآورانه مبتنی بر فناوری میکروسیستم را کند می‌کند، فقدان ابزارهای مهندسی موجود برای امکان طراحی قابل اعتماد میکروسیستم‌ها است. هدف این کتاب گردآوری متون سخنرانی های ارائه شده در دوره CISM با موضوع: طراحی مکانیکی میکروسیستم ها، که در ژوئیه 2004 برگزار شد، می باشد. هدف از این دوره، معرفی ابزارهای اساسی مورد استفاده در طراحی مکانیکی میکروسیستم ها، روش های ساخت این سیستم ها و کاربردهای متعدد این فناوری. پیوندهای بین فناوری‌های میکرو و نانو نیز مورد بحث قرار گرفت و نور در مورد کاربردهای بالقوه میکروسیستم‌ها برای دستکاری مواد در مقیاس نانو روشن شد، بنابراین موضوع مکانیک مهندسی در مقیاس نانو معرفی شد که در دوره‌های آینده به طور کامل مورد بررسی قرار خواهد گرفت. این کتاب در 8 بخش تنظیم شده است. در بخش اول، مقدمه‌ای بر میکروسیستم‌ها و تکنیک‌های ساخت آن‌ها، همراه با توضیح کامل تکنیک‌های ریزماشین کاری سطحی و حجیم و سایر فرآیندهای میکروساخت مانند LIGA و آنودینگ باندینگ ارائه خواهد شد.

Nowadays, micromechanics (i.e., mechanics of microsystems) is probably one of the most promising and rapidly growing fields among new emerging technologies. In fact, the possibility of reducing the size of mechanical structures to the micro-domain opens a wide variety of possible applications in the biomedical, aeronautical, and automotive fields, in robotics, in molecular engineering, in fiber optics, and infiuidics technology. One of the main aspects that slows down the development of innovative industrial products based on microsystem technology is the existing lack of engineering tools to allow a reliable design of microsystems . The aim of this book is that of collecting the texts o the lectures given at the CISM course on: Microsystems Mechanical Design, hold in July 2004. The purpose of this course was to introduce the basic tools used in the mechanical design of microsystems, the fabrication methods for these systems, and several applications of this technology. The links between micro- and nanotechnologies were also discussed and light was shed on the potential applications of microsystems to nano-scale manipulation of matter, thus introducing the topic of nano-scale engineering mechanics, which will be fully explored in a future course. This book is arranged in 8 sections. In the first section an introduction on microsystems and the techniques for their fabrication will be presented, with a thoroughly description of surface and bulk micromachining techniques and of other microfabrication processes as LIGA and anoding bonding.