Microsystem Technology and Microrobotics

فناوری میکروسیستم (MST) اجزای مکانیکی، الکترونیکی، نوری و سایر اجزای بسیار کوچک (حداکثر چند نانومتر) را روی یک بستر برای ساختن دستگاه‌های کاربردی یکپارچه می‌کند. این دستگاه ها به عنوان حسگرها، محرک ها و کنترل کننده های هوشمند برای مصارف پزشکی، خودروسازی، خانگی و بسیاری موارد دیگر استفاده می شوند. این کتاب مقدمه ای اساسی برای MST برای دانشجویان، مهندسان و دانشمندان است. این اولین در نوع خود است که MST را به طور کامل پوشش می دهد. این یک درمان جامع از تمام بخش‌های مهم MST مانند فن‌آوری‌های ساخت میکرو، میکرومحرک‌ها، ریزحسگرها، توسعه و آزمایش میکروسیستم‌ها و پردازش اطلاعات در میکروسیستم‌ها است. محصولات تولید شده تا به امروز و محصولات آزمایشی را بررسی می کند و نمای جامعی از تمام پیشرفت های منتهی به دستگاه ها و روبات های MST ارائه می دهد. تصاویر و عکس‌ها درک را آسان می‌کنند و انبوهی از منابع اجازه کار بیشتر را می‌دهند.

Microsystem technology (MST) integrates very small (up to a few nanometers) mechanical, electronic, optical, and other components on a substrate to construct functional devices. These devices are used as intelligent sensors, actuators, and controllers for medical, automotive, household and many other purposes. This book is a basic introduction to MST for students, engineers, and scientists. It is the first of its kind to cover MST in its entirety. It gives a comprehensive treatment of all important parts of MST such as microfabrication technologies, microactuators, microsensors, development and testing of microsystems, and information processing in microsystems. It surveys products built to date and experimental products and gives a comprehensive view of all developments leading to MST devices and robots. Pictures and photos ease unterstanding and a wealth of references allow further work.