Micromachined Mirrors

آینه‌های میکروماشین‌شده نمای کلی از پیشرفت‌های عملکردی را ارائه می‌دهد که با کوچک‌سازی آینه‌های اسکن مانند آینه‌هایی که برای چاپگرهای لیزری و اسکنرهای بارکد استفاده می‌شوند، و برنامه‌های تازه فعال شده، از جمله نمایشگرهای ویدئویی پروجکشن با اسکن شطرنجی، محقق می‌شوند. و اجزای فیبر نوری فشرده و پرسرعت.
روش‌های بسیار متنوعی برای ساخت آینه‌های ریزماشین‌شده مورد استفاده قرار می‌گیرد - هر کدام مزایا و معایب خود را دارند. با این حال، معیارهای عملکرد مشترک برای آینه های ساخته شده از هر یک از این فرآیندهای ساخت وجود دارد. به عنوان مثال، وضوح نوری مربوط به دیافراگم آینه، صاف بودن آینه و زاویه اسکن است. آینه‌های میکروماشین‌شده چارچوبی برای طراحی میکروآینه‌ها ارائه می‌کند و معادلاتی را استخراج می‌کند که محدودیت‌های اساسی برای عملکرد میکروآینه را نشان می‌دهد. این محدودیت‌ها ابزارهای طراح micromirror را فراهم می‌کنند که با آن می‌توان هندسه‌های آینه قابل قبول را تعیین کرد و به سرعت و آسانی محدوده وضوح نوری آینه‌ای و سرعت اسکن را تعیین کرد.

Micromachined Mirrors provides an overview of the performance enhancements that will be realized by miniaturizing scanning mirrors like those used for laser printers and barcode scanners, and the newly enabled applications, including raster-scanning projection video displays and compact, high-speed fiber-optic components.
There are a wide variety of methods used to fabricate micromachined mirrors - each with its advantages and disadvantages. There are, however, performance criteria common to mirrors made from any of these fabrication processes. For example, optical resolution is related to the mirror aperture, the mirror flatness, and the scan angle. Micromachined Mirrors provides a framework for the design of micromirrors, and derives equations showing the fundamental limits for micromirror performance. These limits provide the micromirror designer tools with which to determine the acceptable mirror geometries, and to quickly and easily determine the range of possible mirror optical resolution and scan speed.