Micro/Nano Integrated Fabrication Technology and Its Applications in Microenergy Harvesting

این کتاب یک فناوری ساخت یکپارچه میکرو/نانو تولید انبوه جهانی را ارائه می‌کند که می‌تواند برای تحقق ساختارهای سلسله مراتبی میکرو/نانو بر روی مواد مبتنی بر Si و مواد پلیمری انعطاف‌پذیر استفاده شود. این فناوری ساخت به طور سیستماتیک با استفاده از اندازه‌گیری‌های تجربی، تحلیل‌های مکانیزم، شبیه‌سازی‌های نظری و غیره مورد بررسی قرار گرفته است. سه ماده رایج (به عنوان مثال، سیلیکون، PDMS و Parylene-C) با ساختارهای سلسله مراتبی میکرو/نانو با موفقیت ساخته شده‌اند که چندین ویژگی جذاب را نیز نشان می‌دهند. علاوه بر این، این کتاب این فناوری ساخت را در زمینه ریزانرژی معرفی می‌کند و چندین نانو ژنراتور با کارایی بالا را پیشنهاد می‌کند که کاربردهای عملی آنها در دستگاه‌های الکترونیکی تجاری و میکروسیستم‌های زیست پزشکی نیز مورد مطالعه قرار گرفته است.

This book presents a universal mass-production micro/nano integrated fabrication technology, which can be used to realize micro/nano hierarchical structures on Si-based materials and flexible polymeric materials. This fabrication technology has been systematically investigated by using experimental measurements, mechanism analyses, theoretical simulations and so on. Three common materials (i.e., silicon, PDMS and Parylene-C) with micro/nano hierarchical structures have been successfully fabricated, which also show several attractive properties. Furthermore, this book introduces this fabrication technology into microenergy field, and proposes several high-performance nanogenerators, of which practical applications have also been studied in commercial electronic device and biomedical microsystem.