دسترسی نامحدود
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
دانلود کتاب Micro mechanical systems
دانلود کتاب سیستم های میکرو مکانیکی
مشخصات کتاب
Micro mechanical systems
ویرایش: نویسندگان: Fukuda T., Menz W. (eds.) سری: Handbook of Sensors and Actuators ISBN (شابک) : 0444823638, 9780444823632 ناشر: Elsevier سال نشر: 1998 تعداد صفحات: 278 زبان: English فرمت فایل : DJVU (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) حجم فایل: 5 مگابایت
قیمت کتاب (تومان) : 35,000
در صورت تبدیل فایل کتاب Micro mechanical systems به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.
توجه داشته باشید کتاب سیستم های میکرو مکانیکی نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.
توضیحاتی در مورد کتاب سیستم های میکرو مکانیکی
این کتاب در ده بخش اصول و فن آوری سیستم های میکرو مکانیکی را شرح می دهد. بخش اول، مقدمه ای کلی بر پیشینه تاریخی و تشابهات میکروالکترونیک، بررسی انگیزه ریزسیستم ها، و بحث در مورد میکروفیزیک و طراحی و تکامل از ریز اجزاء به میکروسیستم ها است. بخش دوم حوزه‌های ریزساخت فوتولیتوگرافی، مفاهیم اساسی پردازش مسطح، مواد و فرآیندها را پوشش می‌دهد. بخش سوم به ریزماشین کاری توسط ماشین ابزار، تاریخچه آن، اصول اولیه و روش های آماده سازی می پردازد. بخش چهارم جنبه های تریبولوژیکی میکروسیستم ها را مورد بحث قرار می دهد. بخش پنجم ساخت، عملکرد و نمونه هایی از میکروسنسورهای سیلیکونی را پوشش می دهد. بخش شش به میکرو محرک های الکتریکی و مغناطیسی برای ربات های کوچک می پردازد. بخش هفت منبع انرژی و روش های تامین برق را پوشش می دهد. بخش هشت اصول و روش‌های کنترل سیستم‌های مکانیکی میکرو را پوشش می‌دهد و بخش نهم نمونه‌هایی از میکروسیستم‌ها و ریزماشین‌ها را ارائه می‌دهد. بخش پایانی مشکلات آینده و چشم انداز سیستم های میکرو مکانیکی را مورد بحث قرار می دهد.
توضیحاتی درمورد کتاب به خارجی
In ten sections this book describes the principles and technology of Micro Mechanical Systems. Section one is a general introduction to the historical background and the parallels to microelectronics, reviewing the motivation for microsystems, and discussing microphysics and design and the evolution from microcomponents to microsystems. Section two covers the areas of photolithographic microfabrication, basic concepts of planar processing, materials, and processes. Section three looks at micromachining by machine tools, its history, basic principles and preparation methods. Section four discusses tribological aspects of microsystems. Section five covers fabrication, performance and examples of silicon microsensors. Section six looks at electric and magnetic micro-actuators for micro-robots. Section seven covers energy source and power supply methods. Section eight covers controlling principles and methods of micro mechanical systems and section nine gives examples of microsystems and micromachines. The final section discusses the future problems and outlook of micro mechanical systems.
فهرست مطالب
Micro Mechanical Systems: Principles and Technology......Page 4
Copyright Page......Page 5
Contents......Page 8
Historical Background and Parallels to Microelectronics......Page 10
The Motivation for Microsystem Technology......Page 13
Microphysics and Design Considerations......Page 15
From the Microcomponent to the Microsystem......Page 18
Basic Concepts of Planar Processing......Page 22
Materials......Page 29
Unit Processes......Page 35
Integrated Processes......Page 53
Limitations of Planar Processes......Page 68
Basics of Micromachine Tools......Page 72
Wire Electrodischarge Grinding (WEDG)......Page 75
Micro Mechanical Machining (MMM)......Page 82
Combined Method for Micromachining......Page 88
Tribology - Friction, Lubrication and Wear......Page 92
Surface Structure and Tribilogical Contact......Page 95
Friction and Wear......Page 102
Materials for Reliable Micromechanical Systems......Page 112
Introduction......Page 124
Fabrication......Page 125
Performance of Micromechanical Sensors......Page 148
Examples of Micromechanical Sensors......Page 155
Introduction......Page 170
Electric Field Driven Actuators......Page 171
Piezoelectric Actuators......Page 179
Mechanical Transformers......Page 180
Magnetic Field Driven Actuators......Page 182
External Supply Methods and Noncontact Manipulation......Page 190
The Others......Page 199
Control Principle......Page 202
Scaling Effects......Page 210
Intelligent Control......Page 211
Man-Machine Interface......Page 217
Introduction......Page 222
Examples of Microsystems......Page 224
Examples of Micromachines......Page 242
The Complete Microsystem......Page 266
The Industrial Potential of Microsystem Technolgy......Page 270
The Importance of Standardization......Page 273
Outlook......Page 275
