دسترسی نامحدود
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
برای ارتباط با ما می توانید از طریق شماره موبایل زیر از طریق تماس و پیامک با ما در ارتباط باشید
در صورت عدم پاسخ گویی از طریق پیامک با پشتیبان در ارتباط باشید
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
درصورت عدم همخوانی توضیحات با کتاب
از ساعت 7 صبح تا 10 شب
ویرایش: نویسندگان: Hiroshi Ito, Elsa Reichmanis, Omkaram Nalamasu, and Takumi Ueno (Eds.) سری: ACS Symposium Series 706 ISBN (شابک) : 9780841235816, 0841235813 ناشر: American Chemical Society سال نشر: 1998 تعداد صفحات: 385 زبان: English فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) حجم فایل: 29 مگابایت
در صورت ایرانی بودن نویسنده امکان دانلود وجود ندارد و مبلغ عودت داده خواهد شد
در صورت تبدیل فایل کتاب Micro- and Nanopatterning Polymers به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.
توجه داشته باشید کتاب پلیمرهای میکرو و نانو سازنده نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.
محتوا: لیتوگرافی با الگوی میکرو دامنه های کوپلیمر بلوکی به
عنوان مقاومت مثبت یا منفی / کریستوفر هریسون، میری پارک، پل ام.
چایکین، ریچارد ای. ریجستر، و داگلاس اچ. آدامسون --
نانوساختارهای معدنی در سطوح با استفاده از الگوهای کوپلیمر
دوبلوک میسلی / یواخیم پی اسپاتز، توماس هرتزوگ، استفان موسمر، پل
زیمان و مارتین مولر --
سنتز پلیمرهای منظم به عنوان پیش ساز کربن بسیار رسانا برای
استفاده در کاربردهای میکرو و نانو سنگی / سی بی گورمن، آر دبلیو
وست، جی.ال. اسنوور، تی.ال. Utz و S.A. Serron --
فلزسازی روی بستر پلی (تترا فلوئورواتیلن) با واکنش سطحی ناشی
از لیزر اگزایمر و آبکاری شیمیایی / Hiroyuki Niino و Akira Yabe
--
یک رویکرد معدنی به فوتولیتوگرافی: رسوب فتولیتوگرافی فیلم های
اکسید فلز دی الکتریک / راس اچ. هیل و شارون ال. بلر --
قالب گیری ریزساختارهای پلیمری / T. Hanemann, V. Piotter, R.
Ruprecht, and J.H. Hausselt --
واحدهای متقابل حساس به اسید: مفهومی برای بهبود مقاومت نوری عمیق
UV / H.-T. Schacht, P. Falcigno, N. Münzel, R. Schulz, and A.
Medina --
شیمی سیستم مقاوم کتال و عملکرد لیتوگرافی آن / وو سونگ هوانگ،
کیم یی لی، رائو بانتو، رانی کوونگ، احمد کتنانی، محمود خجسته،
ویلیام برانسوولد، استیون هولمز، رونالد نونس، تسویوشی شیباتا،
جورج اورسولا، جیمز کامرون، دومینیک یانگ و راجر سینتا --
انتشار فوتوتواسید در مقاومت های DUV تقویت شده شیمیایی / توشیرو
ایتانی، هیروشی یوشینو Shuichi Hashimoto، Mitsuharu Yamana،
Norihiko Samoto، و Kunihiko Kasama --
ترکیبات دیازو بسیار حساس به نور به عنوان مولد اسید فوتو برای
مقاومت های شیمیایی تقویت شده / Kieko Harada، Masahito Kushida،
Kyoichi Saito، Kazuyuki Sugita و Hiro</ > کاوش مکانیسم
های مقاومت شیمیایی تقویت شده و عملکرد در پهنای خط کوچک / جیمز
دبلیو. تیلور، پل ام. دنتینگر، استیون جی راینر و جفری دبلیو.
رینولدز --
تهیه و بررسی معماری های ماکرومولکولی برای میکرولیتوگرافی توسط \
"زندگی" رایگان پلیمریزاسیون دیکال / G.G. بارکلی، ام. کینگ، آ.
اورلانا، پی.آر.ال. Malenfant، R. Sinta، E. Malmstrom، H. Ito، و
C.J. Hawker --
واکنش های تکثیر اسید و کاربرد آنها در تصویربرداری لیتوگرافی
تقویت شده شیمیایی / Kunihiro Ichimura، Koji Arimitsu، Soh
Noguchi و Kazuaki Kudo --< br/> سینتیک حفاظت از سیستم های
مقاوم در برابر پلیمرهای آلی حلقه ای طراحی شده برای لیتوگرافی
ArF (193 نانومتر) / Uzodinma Okoroanyanwu، Jeffrey D. Byers، Ti
Cao، Stephen E. Webber و C. Grant Willson --
193 نانومتر تک لایه مقاومت بر اساس مشتقات پلی
(نوربورن-آلت-مالئیک انیدرید): تأثیر متقابل ساختار شیمیایی اجزاء
و خواص لیتوگرافی / F.M. Houlihan، A. Timko، R. Hutton، R.
Cirelli، J.M. Kometani، Elsa Reichmanis، و O. Nalamasu --
سنتز و ارزیابی پلیمرهای ستون فقرات alicyclic برای لیتوگرافی 193
نانومتری / هیروشی ایتو، نوربرت سیهوف، ریکیاتو ، توموناری
ناکایاما و میتسورو اوئدا --
پیشرفت در مقاومت تک لایه 193 نانومتری: نقش ساختار مولد اسید
فوتو بر عملکرد مقاومت های مثبت / رابرت دی آلن، جولیان اوپیتز،
کارل ای. لارسون، توماس اول والو، ریچارد دی پیترو، گرگوری بریتا،
راتنام سوریاکوماران، و دونالد سی. هوفر --
کالیکسارن و دندریمر به عنوان مواد مقاوم به نور جدید / اوسامو
هابا، دایسوکه تاکاهاشی، کوجی هاگا، یوشیماسا ساکای، توموناری
ناکایاما، و میتیت Ueda --
مقاومت کالیکسارن برای نانولیتوگرافی / Yoshitake Ohnishi، Naoko
Wamme، و Jun-ichi Fujita --
طراحی و مطالعات اولیه مقاومهای تون مثبت قابل ریختهگری در آب،
قابل توسعه در آب: مدل و امکانسنجی مطالعات / جنیفر ام. هاوارد،
داریو پاسینی، ژان ام.جی. Fréchet، David Medeiros، Shintaro
Yamada و C. Grant Willson --
طراحی مولکولی برای مقاومهای جدید پرتو الکترونی مثبت / یوکیو
ناکازاکی --
تأثیر ساختار بر مهار انحلال برای مقاومهای نوری مبتنی بر
نوولاک: انطباق رویکرد احتمالی / کریستوفر ال. مک آدامز، وانگ
یوه، پاولوس تسیارتاس، دیل هسیه، و سی. گرانت ویلسون --
پلیمرهای تولید کننده فوتوتواسید برای مقاومت در برابر اصلاح سطح
/ Masamitsu Shirai، Mitsuho Masuda، Masahiro Tsunookando
Masuda، ، و تاکاهیرو ماتسو --
طراحی و توسعه مواد برای مقاومت در برابر تن منفی اشعه ماوراء
بنفش عمیق با عملکرد بالا سازگار با پایه آبی / پوشکارا رائو
بنارس، هیروشی ایتو، فیل براک، گرگوری بریتا، ویلیام آر.
برونسوولد، و احمد دی. Katnani --
فرآیند مقاومت شیمیایی تقویت شده پیشرفته با استفاده از تقویت
کننده چسبندگی غیر تولید کننده آمونیاک / M. Endo و A. Katsuyama
--
سینتیک پخت پس از قرار گرفتن در معرض در مقاومت های تقویت شده
شیمیایی مبتنی بر نوولاک اپوکسی / P. Argitis ، S. Boyatzis، I.
Rapti s، N. Glezos، و M. Hatzakis --
پلی آمید حساس به نور مثبت قابل توسعه قلیایی بر اساس حساس کننده
دیازونافتوکینون / T. Ueno، Y. Okabe، T. Miwa، Y. Maekawa، و G.
Rames-Langlade .
Content: Lithography with a pattern of block copolymer
microdomains as a positive or negative resist / Christopher
Harrison, Miri Park, Paul M. Chaikin, Richard A. Register, and
Douglas H. Adamson --
Inorganic nanostructures on surfaces using micellar diblock
copolymer templates / Joachim P. Spatz, Thomas Herzog, Stefan
Mössmer, Paul Ziemann, and Martin Möller --
Synthesis of stereoregular polymers as precursors to highly
conducting carbon for use in applications in micro- and
nanolithography / C.B. Gorman, R.W. Vest, J.L. Snover, T.L.
Utz, and S.A. Serron --
Metallization on poly(tetrafluoroethylene) substrate by
excimer-laser-induced surface reaction and chemical plating /
Hiroyuki Niino and Akira Yabe --
An inorganic approach to photolithography : the
photolithographic deposition of dielectric metal oxide films /
Ross H. Hill and Sharon L. Blair --
Molding of polymeric microstructures / T. Hanemann, V. Piotter,
R. Ruprecht, and J.H. Hausselt --
Acid labile cross-linked units : a concept for improved
positive deep-UV photoresists / H.-T. Schacht, P. Falcigno, N.
Münzel, R. Schulz, and A. Medina --
Chemistry of ketal resist system and its lithographic
performance / Wu-Song Huang, Kim Y. Lee, Rao Bantu, Ranee
Kwong, Ahmad Katnani, Mahmoud Khojasteh, William Brunsvold,
Steven Holmes, Ronald Nunes, Tsuyoshi Shibata, George Orsula,
James Cameron, Dominic Yang, and Roger Sinta --
Photoacid diffusion in chemically amplified DUV resists /
Toshiro Itani, Hiroshi Yoshino, Shuichi Hashimoto, Mitsuharu
Yamana, Norihiko Samoto, and Kunihiko Kasama --
Highly photosensitive diazo compounds as photoacid generators
for chemically amplified resists / Kieko Harada, Masahito
Kushida, Kyoichi Saito, Kazuyuki Sugita, and Hirotada Iida
--
Exploration of chemically amplified resist mechanisms and
performance at small linewidths / James W. Taylor, Paul M.
Dentinger, Steven J. Rhyner, and Geoffrey W. Reynolds --
The preparation and investigation of macromolecular
architectures for microlithography by "living" free radical
polymerization / G.G. Barclay, M. King, A. Orellana, P.R.L.
Malenfant, R. Sinta, E. Malmstrom, H. Ito, and C.J. Hawker
--
Acid proliferation reactions and their application to
chemically amplified lithographic imaging / Kunihiro Ichimura,
Koji Arimitsu, Soh Noguchi, and Kazuaki Kudo --
Deprotection kinetics of alicyclic polymer resist systems
designed for ArF (193 nm) lithography / Uzodinma Okoroanyanwu,
Jeffrey D. Byers, Ti Cao, Stephen E. Webber, and C. Grant
Willson --
193 nm single layer resist based on poly(norbornene-alt-maleic
anhydride) derivatives : the interplay of the chemical
structure of components and lithographic properties / F.M.
Houlihan, A. Timko, R. Hutton, R. Cirelli, J.M. Kometani, Elsa
Reichmanis, and O. Nalamasu --
Synthesis and evaluation of alicyclic backbone polymers for 193
nm lithography / Hiroshi Ito, Norbert Seehof, Rikiya Sato,
Tomonari Nakayama, and Mitsuru Ueda --
Progress in 193-nm single layer resists: the role of photoacid
generator structure on the performance of positive resists /
Robert D. Allen, Juliann Opitz, Carl E. Larson, Thomas I.
Wallow, Richard A. DiPietro, Gregory Breyta, Ratnam
Sooriyakumaran, and Donald C. Hofer --
Calixarene and dendrimer as novel photoresist materials / Osamu
Haba, Daisuke Takahashi, Kohji Haga, Yoshimasa Sakai, Tomonari
Nakayama, and Mitsuru Ueda --
Calixarene resists for nanolithography / Yoshitake Ohnishi,
Naoko Wamme, and Jun-ichi Fujita --
Design and preliminary studies of environmentally enhanced
water-castable, water-developable positive tone resists : model
and feasibility studies / Jennifer M. Havard, Dario Pasini,
Jean M.J. Fréchet, David Medeiros, Shintaro Yamada, and C.
Grant Willson --
Molecular design for new positive electron-beam resists / Yukio
Nagasaki --
The influence of structure on dissolution inhibition for
novolac-based photoresists : adaption of the probabilistic
approach / Christopher L. McAdams, Wang Yueh, Pavlos Tsiartas,
Dale Hsieh, and C. Grant Willson --
Photoacid generating polymers for surface modification resists
/ Masamitsu Shirai, Mitsuho Masuda, Masahiro Tsunooka, Masayuki
Endo, and Takahiro Matsuo --
Material design and development for aqueous base compatible
high-performance deep UV negative-tone resists / Pushkara Rao
Varanasi, Hiroshi Ito, Phil Brock, Gregory Breyta, William R.
Brunsvold, and Ahmad D. Katnani --
Advanced chemically amplified resist process using non-ammonia
generating adhesion promoter / M. Endo and A. Katsuyama
--
Post-exposure bake kinetics in epoxy novolac-based chemically
amplified resists / P. Argitis, S. Boyatzis, I. Raptis, N.
Glezos, and M. Hatzakis --
Alkali-developable positive-photosensitive polyimide based on
diazonaphthoquinone sensitizer / T. Ueno, Y. Okabe, T. Miwa, Y.
Maekawa, and G. Rames-Langlade.