دسترسی نامحدود
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
برای ارتباط با ما می توانید از طریق شماره موبایل زیر از طریق تماس و پیامک با ما در ارتباط باشید
در صورت عدم پاسخ گویی از طریق پیامک با پشتیبان در ارتباط باشید
برای کاربرانی که ثبت نام کرده اند
درصورت عدم همخوانی توضیحات با کتاب
از ساعت 7 صبح تا 10 شب
ویرایش: 1 نویسندگان: Hans H. Gatzen, Volker Saile, Jürg Leuthold سری: ISBN (شابک) : 9783662443941, 9783662443958 ناشر: Springer-Verlag Berlin Heidelberg سال نشر: 2015 تعداد صفحات: 537 زبان: English فرمت فایل : PDF (درصورت درخواست کاربر به PDF، EPUB یا AZW3 تبدیل می شود) حجم فایل: 22 مگابایت
کلمات کلیدی مربوط به کتاب میکرو و نانو ساخت: ابزار و فرآیندهای: نانوتکنولوژی و میکرومهندسی، ساخت، ماشین آلات، ابزار، رویههای عملیاتی، تصفیه مواد
در صورت تبدیل فایل کتاب Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes به فرمت های PDF، EPUB، AZW3، MOBI و یا DJVU می توانید به پشتیبان اطلاع دهید تا فایل مورد نظر را تبدیل نمایند.
توجه داشته باشید کتاب میکرو و نانو ساخت: ابزار و فرآیندهای نسخه زبان اصلی می باشد و کتاب ترجمه شده به فارسی نمی باشد. وبسایت اینترنشنال لایبرری ارائه دهنده کتاب های زبان اصلی می باشد و هیچ گونه کتاب ترجمه شده یا نوشته شده به فارسی را ارائه نمی دهد.
برای تولید سیستمهای میکروالکترومکانیکی (MEMS) و سیستمهای نانوالکترومکانیکی (NEMS)، هر محصول به یک فناوری فرآیند منحصر به فرد نیاز دارد. این کتاب بینشی جامع در مورد ابزارهای لازم برای ساخت MEMS/NEMS و فناوریهای فرآیند اعمال شده ارائه میکند. علاوه بر این، فناوریهای توانمندی را توصیف میکند که برای تولید موفقیتآمیز ضروری هستند، بهعنوان مثال، صفحهبندی و چسباندن ویفر، و همچنین کنترل آلودگی.
For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.
Front Matter....Pages i-xxvi
Introduction—MEMS, a Historical Perspective....Pages 1-5
Vacuum Technology....Pages 7-63
Deposition Technologies....Pages 65-203
Etching Technologies....Pages 205-272
Doping and Surface Modification....Pages 273-312
Lithography....Pages 313-395
LIGA....Pages 397-408
Nanofabrication by Self-Assembly....Pages 409-423
Enabling Technologies I—Wafer Planarization and Bonding....Pages 425-453
Enabling Technologies II—Contamination Control....Pages 455-494
Device Fabrication—An Example....Pages 495-512
Back Matter....Pages 513-519